《材料微观组织表征及性能检测分析》微观组织表征部分-130926.ppt

材料微观组织表征及性能检测分析 材料与冶金学院 材料研究所 材料各向异性与织构教育部重点实验室 主 要 内 容 激光光源 408nm 短波长半导体激光 在高分辨率观察与高精度测量中，为什么需要激光光源? 高亮度 纯净的单色光 高方向性 点光源 为什么要使用 408nm ? 显微观察时可得到更高的分辨率 分辨率 共焦技术 杂光被阻挡—提高反差 焦外像被阻挡，只有焦面像被通过→ 得到同高度的影象　 X-Y 扫描 X轴—OLYMPUS自主开发生产的MEMS高速扫描头 Y轴—使用 Galvanometer 扫描镜 宽视野范围 光学变焦 减少失真 高速度，长寿命，低噪音 Z轴扫描 物镜对焦与Z轴的扫描 较轻的物镜转盘移动，可以提高对焦精度和重复性 如载物台移动，标本的重量会影响测量精度。标本振动直接会影响测量结果 Z轴移动是由 5nm 控制 特殊的光学系统和传感器 专门为 408 nm 设计的光学系统 高灵敏度的光电传感器 高精度的测量 2D 测量 最佳测量范围: down to 1.5mm--1μm 几何量的测量: 如线宽，直径等. 3D 测量 最佳测量范围: down to 1mm--0.5μm 直接的3D 测量: 如体积，面积，表面积等. 可测量已知折射率的透明膜膜厚. 粗糙度分析 最佳级别: Rz＝0.1μm. 可进行线/面的粗糙度分析.