第5章电子显微镜讲稿-Haishan-Wenbin..docVIP

第五章 扫描电子显微镜 5.1扫描电子显微镜简介 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是透射电镜之后发展起来的一种电子显微镜。1952年，英国工程师Charles Oatley制造出了第一台扫描电子显微镜(SEM)。 扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同，它是以电子束作为照明源，把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到样品上，产生各种与样品性质有关的信息，然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。 扫描电镜在断口失效分析、材料微观组织形貌观察及成分分析方面发挥了重要作用。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。 扫描电镜的特点 （1）分辨本领较高。二次电子像分辨本领可达1.0 nm(场发射), 3.0 nm(钨灯丝)； （2）放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍），且连续可调； （3）图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）； （4）样品制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的样品不加处理或稍加处理，就可直接放到扫描电子显微镜中进行观察；一般来说，比透射电子显微镜（TEM）的制样简单，且可使图像更近于样品的真实状态； （5）观察扫描形貌图像的同时，可对样品微区进行元素分析。扫描电子显微镜装上波长色散X射线谱仪（WDX）或能量色散X射线谱仪（ED