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光干涉理论在制膜工程技术中的应用
07物基 杨群 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 制模成果展示 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 薄膜干涉原理 最后可得 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 薄膜生产和镀膜过程的动态监控 1 数据采集 在薄膜生产过程中,用光源照射在薄膜上,即产生a、b两束反射相干光;但是,反射光强弱由薄膜的折射率决定,当薄膜的折射率与空气的折射率相差不大时,反射光较弱,这时可用透射光相干光,即 、 两束透射相干光,当薄膜厚度确定后,相干光产生的明、暗条纹的位置即确定,将干涉亮条纹经光电转换后,可直接从电表或数字显示器上读出数据。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 2 数据处理 先将检测系统作初始化设定,然后,将采集的数据与之比对。用光电传感器和A/D转换的检测电路系统,将转换后的电信号换算成对应的膜厚,用数字显示;用CCD成像和计算机处理系统,直接由计算机处理后用数字显示。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 3 对薄膜生产和镀膜过程的监控 用光电传感器和A/D转换系统,将光电传感器转换成的电信号经A/D转换后,与机械控制电路连接,当薄膜厚度产生偏差时,光干涉条纹亮纹位置随之发生改变,即原位置的光强也随之发生改变,经光电转换后的电信号将发生变化,导致机械控制电路将对机械进行调控,使薄膜的厚度回到原来的厚度。这样可以对薄膜生产过程进行全面的监控。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.
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