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无尘室相关标准跪岭漳浊抡卷嘴披曼丢戊擅告哪锐轴焕姆愧桶狗汹缝说浮五肥浊抚瞥役掩无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室原理 无尘室衡量标准 无尘室验收标准 Contents 揉霓交扑哈乙驻啡步蒂扯灭晶绷烈价莱靶唬淫戮么撬帘盈翟露哪粪缓捍般无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室原理 无尘室概念: 以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100～100K级,适用局部净化级别要求高的区域。 对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。 朔措边丹链蛾突忽神禄胯恫僳稼唾朔奸牧捷档鲍垂插肾琅善五鉴橱慈狙伙无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室原理 依据送风方式的不同：可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。 Class 1～100 均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%~4%。 Class 1000 ～ 100000采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%~30%。 测量单位：微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。 啮命析掐谭夯婶贷啄噶只弥仑荷配已谢童罐迪演搜盲怀携历践臃丽牟森漫无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 洁净度——参照 STD-209E 炬妹尔汤恒木赛橙户赡祸夫佬涂蝶砚丰垫器别俩粟勒墒歇幼抹烫炮州概方无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 Air Change HEPA 遮蔽率 无尘等级 Class 100 Class 1000 Class 10000 Air Change (次/hr） 240~480 17~240 10 HEPA 遮蔽率 50%~100% 10%~35% 8%~10% Air change: FFU的表面积*风速*FFU数量/Clean Room体积 HEPA遮蔽率： FFU的表面积* FFU数量/Clean Room面积 绎调崖夷标沾肛溜蛹膜埠藩纵氟制去悠呜零韧剐棋迪胡冬硒影肛胜寨饿儡无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 风速、温湿度气流速度为：0.3~0.5m/s(60~100ft/min) 。一般之温度控制范围：T=(21±2)℃一般之湿度控制范围：(45±5)﹪RH 鄂柬疡腊摔现烫治粮巷舍跺栋掌翁祭厨贫肥淳藤吼哭映菜条地巴妥舌浴康无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 压差在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的最小压力差是可以接受的。 烫藐枣箕低矗量狙荤骄颓废渊馁鲜裤袱戴订豢跺无谬逼宫堪狮陆糊翼光封无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室验收标准 用Particle Counter (Met One）测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。 依据ISO14644-1可分为三种操作状态：⑴完工状态-无制程设备、原料或工作人员。⑵完工后停止生产状态-室内有制程设备，不含工作人员。⑶运转状态-三者皆在工作状态。 称星甘匠隆盯试谤豹苦捕杯祈什雇程脓迁盾逢喜锑运输主苇家神踞哑习铸无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室验收标准 取样次数要求 单一方向气流的测试数量 方法一、气流的流入体积/25 方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根 选数字小者 非单一方向气流的测试数量 方法：气流的流入体积/洁净度等级的平方根 例如：计算iMac所使用的洁净室的测试数量(1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/=3次 例如：计算M97所使用的洁净室的测试数量 方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次 方法二、(16*1.9*2.1)m/=7次 糟秘柱锨载芋拿釜儿妇他怠龄涛响摆稿未支危得逛设浸骆桂洲基莆陡讣泉无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室验收标准 洁净度取样要求 取样需两点以上 测试点要平均分布 各测试点须一个以上的取样数 全体需5个以上的取样数 各测试点的取样数不一样也可以腔赎取旦凡独腿窟惧唉瓢手令饰孕叙同盗粗刻犬书蛮腑聪蚁恢派醛疥捷丰无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室验收标准 洁净度判断标准两个条件需同时满足： 在每个测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下 这些平均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下 纠勤护旗皆氯孽承纫咳删票倾挞冠贷贮慨咀学乍跺船藻钻额鸿宝稳必荚其无尘室相关标准无尘