江苏璨扬光电有限公司LED外延、芯片制造项目-扬州经济技术开发区.docVIP

江苏璨扬光电有限公司LED外延、芯片制造项目 环境影响报告书简本 (本简本仅供参考查阅) 2016年月目 录1 建设项目概况 2 1.1 项目地点及相关背景 2 1.2 项目建设内容 3 2 建设项目周围环境现状 5 3 建设项目环境影响预测及拟采取的主要措施与效果 6 3.1 污染物产生排放情况 6 3.2 污染防治措施 8 3.3 环境监测计划及环境管理制度 13 4 公众参与 14 5 环境影响评价结论 14 6 联系方式 14 1 建设项目概况 1.1 项目地点及相关背景 1.1.1 建设地点 1.1.2 建设背景 2009年，香港裕星企业有限公司在江苏省扬州经济技术开发区兴建江苏璨扬光电有限公司，主要从事、芯片制造。江苏璨扬光电有限公司共有两期项目，具体为： 一期项目为江苏璨扬光电有限公司LED外延、芯片制造项目（以下简称“一期项目”），该项目建设规模为年产LED外延片9.88万片，LED芯片11亿颗。《江苏璨扬光电有限公司LED外延、芯片制造项目环境影响报告书》于2009年12月经江苏省环境保护厅审批（苏环审[2009]204号文）。一期项目于2012年1月9日起试生产，正在办理试生产验收。 二期项目为江苏璨扬光电有限公司增资项目——LED外延片、芯片项目（以下简称“二期项目”），该项目建设规模为年产高亮度蓝光LED外延片108.3万片，高亮度蓝光LED芯片45.3亿颗。《江苏璨扬光电有限公司增资项目——LED外延片、芯片项目环境影响报告书》于2010年11月经扬州市环境保护局审批（扬环审批[2010]102号文）。二期项目于2013年6月24日起试生产，。 1.2 项目建设内容 1.2.1 原环评时，由于一期项目前期基础资料不完善，建设单位提供资料及数据有误，原环评按照建设单位提供的资料及数据进行评价。 该项目在建设过程中，依据香港裕星企业有限公司已有工厂的生产经验，对部分工艺流程、原辅料、生产设备、环保设施以及厂区平面布局等进行了调整。表-1 二期项目建设及建成后全厂产品方案 序号 产品名称 产品规格 生产规模 项目 项目 合计 1 LED外延片 2英寸 9.88万片/年 93.7万片/年 103.58万片/年 4英寸 0 14.6万片/年 14.6万片/年 小计 9.88万片/年 108.3万片/年 118.18万片/年 2 LED芯片 80～120lm/W 11.0亿颗/年 45.3亿颗/年 56.3亿颗/年 副产品氨水 25% 30t/a 200 t/a 230 t/a 注：外延片为中间产品。 1.2.2 工程变更内容汇总 由于原环评时建设单位提供资料及数据有误，实际建设过程中生产工艺流程发生变化，由此生产设备及原辅料均相应发生变化，另外含氨废气、废水及固废处理措施以及厂区平面布局等也发生变化。主要变更内容详见表1.2-2。 表1.2-2 主要变更内容一览表 变更环节 原环评内容 本次变更内容 说明 生产工艺（外延片） 外延片生产过程为MOCVD、黄光、清洗后为中间产品LED外延片 减少了黄光、清洗工序 主要工艺金属有机物化学气相沉积（简称MOCVD）工艺未发生变化 生产工艺（芯片） 外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→退火→SiO2沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→切割→老化→成品测试 外延片→清洗→黄光→干法刻蚀→去光阻→SiO2沉积→湿法刻蚀→沉积→吹扫→黄光→合金→去光阻→沉积吹扫→黄光等→SiO2腐蚀→切割→老化→成品测试 主体工艺内容未变，根据产品质量需要所用物料、工艺顺序、设备等发生变化。 原辅料 蓝宝石衬底片、氢气、氨气、三甲基镓、盐酸、氢氟酸等 增加硫酸、丙酮等，另外，原辅料用量调整 主要设备 主要设备变化不大 光刻机（曝光机）增加2台、清洗台减少5台、热蒸镀机（ITO蒸镀机）增加4台、端面抛光机增加1台、激光切割机增加3台、划片机36台没购置。 污染物产生及排放情况 废气、废水、固废污染物产生及排放与实际不相符 重新核算 根据验收监测报告，类比二期项目重新核算一期项目污染物产生及排放量 废气产生与处理 含氨废气通过自带的“活性炭吸附+酸液喷淋洗涤”处理后15m排气筒排放 调整为“三级水吸收+一级稀硫酸吸收” 处理后20m排气筒排放 一期、二期全厂考虑，已通过扬州市环境保护局审批（扬环函[2013]123号）和（扬环函[2014]64 号）。根据补充报告，氨去除率为98%,但根据目前验收监测数据平均为92%。废水中含氨废水减少。因此本次中将对全厂的氨重新进行核算