快速刀架系统幻灯片.ppt

微细超精密机械加工系统原理及系统设计 第1节 背景介绍 典型的微结构功能表面加工方法 快速伺服刀架发展历程 快速伺服刀架加工原理 快速伺服和慢刀伺服的比较 快速伺服刀架基本指标 第3节 快速伺服刀架结构设计 快速伺服刀架系统 FTS的分类 压电陶瓷FTS 逆压电效应式微位移机构——压电陶瓷 压电陶瓷的特性 控制系统——消除压电陶瓷的位移非线性 压电陶瓷FTS的导向机构 弹性铰链的工作原理 压电陶瓷FTS的动力学模型 快刀伺服装置的设计要求 为了保证系统的动态性能，应使压电陶瓷及柔性铰链具有较大的刚度值及尽可能小的动质量 在静态工作情况下，为了保证足够的位移输出，在满足系统动态性能要求的情况下，应使压电陶瓷与柔性铰链的刚度比尽可能大 压电陶瓷的驱动电源需要向压电陶瓷输出高频、高幅值的驱动电压，又要保证快刀伺服系统有很高的精度，需要其具有高的电压输出精度、大的输出功率、高的频响性能 柔性刀架传递压电陶瓷输出的高频运动，并保护压电陶瓷不产生损坏，在设计过程中其驱动力、固有频率、最大行程、疲劳强度等都需要进行重点考虑 快刀伺服装置的设计 弹性铰链的主要参数 弹性铰链的理论计算 柔性铰链的优化数学模型 基于有限元方法进行优化 洛伦兹力FTS 麦克斯韦力 又称变磁阻正应力,它是不同于洛仑兹力的另一种电磁驱动力 麦克斯韦力FTS ①变形量与作用电场之间成线性。 ②当应力T3方向与电场作用方向相反时，压电陶瓷将被压缩。作用力大小影响伸缩量，但不改变位移的线性度。 ③有较大的位移迟滞和蠕变，响应速度快。 1、迟滞现象：迟滞现象产生的原因是由于晶体在极化的过程中，电介质内部的晶粒间存在着内摩擦力，在施加电场后极化不能立即完成而存在一定的滞后。 2、蠕变（漂移）现象：蠕变是指在一定的电压下，位移达到稳定值后并不保持在这一固定值不变，而是随着时间的推迟产生漂移。蠕变现象和作用电压对剩余极化作用有关，也是由于晶粒间的内摩擦力使得极化作用不能立即完成造成的。在外加电压的作用下，蠕变伸缩量和时间成对数关系， 式中，?L为蠕变的变化量，L为在一定电压下的伸长量，r为蠕变系数(0.1一0.2)，t为蠕变时间。 3、外力作用下位移特性： kpzt为压电陶瓷的等效刚度； ks为弹簧的刚度。 4、温度特性： 热线性膨胀：3.5x10-6/K 温度变化对压电效应的影响: 低温时伸长量小； 居里点（150 ℃ ），压电效应消失 5、位移分辨率：理论上具有无限分辨率，实际上受到噪声和控制系统的影响 常用的方法有电压控制方法和电荷控制方法两种； 电压控制法： 开环电压控制法——设计参考模型法 开环系统的组成比较简单，成本也比较低，软件补偿的精度主要取决于压电陶瓷作动器的电压一位移特征曲线的拟合，精度较低。 闭环电压控制法：多采用电容和应变片作为传感器。 柔性铰链：是一种精密的既能支撑又能导向的微位移铰链。这种铰链采用一体的金属切割而成，具有较高的位移分辨率和导向精度，没有机械摩擦和间隙、不需要润滑、不存在爬行现象，且结构紧凑，体积小，重量轻，易于加工装配。 双柔性平行四连杆机构导向：输出平台只能做平动 弹性变形原理：仅柔性铰链处产生弹性变形，其他部分可以认为是刚体。各柔性铰链简化为转动弹簧。 压电陶瓷在A点驱动，实现位移输入； 期望频率推导FTS刚度： 压电陶瓷在弹性载荷作用下的实际输出位移 式中 △L0 ——PZT无外载荷作用下的名义输出位移； KP ——PZT的刚度； KS ——弹性负载的刚度。 为使PZT在工作过程中始终保持可靠接触，提高各接触面的接触刚度，应对其施加一定的外部预载荷。 式中 F0 ——PZT受到的预紧力； △Ls ——柔性铰链产生一定的预变形。 由于预紧力的作用，PZT的零点偏移量 式中 L0——PZT自由状态下的原长； L1——PZT受预紧力后的长度。 主要设计参数：柔性铰链的圆半径R、最小铰链厚度t、铰链长度L、平台厚度b 主要性能指标：弯曲刚度、最大应力和应力分布 由于弹性铰链的形状复杂，很难直接确定铰链的刚度和应力的计算公式。因此，理论计算通常基于两个基本假设: ①弹性铰链只在薄壁处发生弯曲变形，铰链的其它部分看作为刚体不产生变形。 ②当施加Y向载荷时，只有弯曲变形产生，无伸缩及其它变形。 北卡罗莱纳州立大学 新加坡国立大学 日本东北大学 国防科大 压电陶瓷驱动的FTS 具有一系列优点:响应速度快、加速度高,频响范围可达数千赫兹;具有实现较高定位精度的潜力,精度可优于0.01μm ;有较大的输出力密度(约3.9kN/ cm2 ) ;轴向刚度较高, 在典型结构的尺寸设计中可以达到50N/μm以上;无需传动机构;系统开环稳定,易于控制。 压电