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上饶晶科光电高科技有限公司 3)打开门,将此炉门气动阀上的两个气管拔下,上面的调节阀不要动。并将气管的头对折后用紧扎带绑紧,防止压力阀开启后漏气。 19.unloading boat 退舟 20.end of process 结束工艺 PECVD操作注意事项(下面罗列的每一项都有可能导致石墨电极损毁或者设备损坏) 1.SLS处于“UP”位置时,管内有舟时不可手动进桨。 2.SLS处于“Down”位置时,桨上有舟时不得手动进舟。 3.桨上有舟时,舟不在正确位置,不准切换到自动运行状态。 4.进舟,退舟失败报警时,一定要检查舟的位置是否在合理的位置,才可以对报警进行复位。自动/手动的切换要谨慎。若舟不在正确位置, 请手动移动到正确的位置后再对报警进行复位(炉门是以桨的位置作为开闭的标准)。图(4)(5) 5.舟位于存储架(storage2,storage3)时,一定要确认存储架上的感应器有没有感应到。图(2)(3),否则有可能导致撞舟。 6.清理碎片时要注意热探针(两根玻璃棒)清理结束后一定要将热探针放于管子的中间位置,否则进退舟时有可能被撞掉。图(6) 7.从手动切换到自动状态时,机械臂一定要在Middle位置,否则机械臂有可能无法正常运行而报警。图(7) 8.进退舟时,小车不得混用,并且务必确认小车有无被缩定。 9.进舟后,工艺无法正常运行时,先确认舟在桨上的位置,以及Tube=ready,SLS=up,TGA=yes,然后进行其他操作 10.小车被锁定后,不得转动石墨电极的方向。图(7)否则石墨电极会撞到桨或者机械臂 11.石墨电极的电极孔方向在进舟时不得搞错,否则有可能撞坏高频的两根电极。 * * To Power Our Future PECVD岗位培训教材 电池设备部 参数的影响 生产/工艺调试 运行时输入 (默认720秒) 150、156多晶 6multiv.prz 生产 720秒 150、156多晶 6multi.prz 生产/工艺调试 运行时输入 (默认900秒) 156单晶 6SINVAR.PRZ 生产 900秒 156单晶 6sin900.PRZ 生产/工艺调试 运行时输入 (默认720秒) 125多晶 5multiv.prz 生产 720秒 125多晶 5multi.prz 工艺调试/生产 运行时输入 (默认900秒) 125单晶 5sinvar.prz 生产 900s 125单晶 5sin900.PRZ 用途 沉积时间 型号 工艺文件名 沉积时间的不同膜厚也是 不一样的要根据镀膜的颜色来 适当的增加或减少它的沉积时间,片子发白要减少沉积 时间,如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的 确认,不允许把不良品流入到下道工序,如色斑、水印 镀膜不良,应及时挑出做返工处理。 参数的影响 Handing界面的介绍 Arm的位置(Paddle,Middle storage)其余显示均为错误 桨的信息:free 无舟 occupied 有舟 机械臂上石墨舟的感应器 empty:无舟 occupied 有舟 石英管信息显示 ready:准备状态 not ready :运行状态 机械臂运行状态 free:运行 lock:锁定 显示存储架的存储信息 机械臂目前所的位置 PECVD岗位基本操作及注意事项 BOAT信息设置方法介绍 BOAT信息的设置将直接影响机械臂的自动运 行是否正常。 舟号:点击过后可对BOAT信息设置 运行状态 桨号 管号 工艺号 PECVD岗位基本操作及注意事项 设定实际信息,选择此项后可对信息进行修改 或重新设定。点击取消√后,才可选择 下面一项。 删除此舟的信息 点击进入下一步 PECVD岗位基本操作及注意事项 舟号 硅片规格 此舟的起始位置,一般固定为 Storage1,不做修改。 管号,选择需要在哪管进行工点…“ 下拉键进行选择,选择 Automatic为自动选择管号 此步设置结束后按此键进行下一步设 定 PECVD岗位基本操作及注意事项 此舟的当前实际位置 类型:晶片(一般情况下不作修改 舟的负载类型:晶片工艺(一般不作修改 舟当前的运行状态 (1)no change 不选择,一般舟在 storage 1时选择
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