真空泵的概述.doc

真空泵的概述 Xue Jianguo (Jiangsu Asia Pacific pump valve technology limited company, Jiangsu Taizhou 225400) 摘要：真空泵产品数量巨大，产量大，产量不高，但这确实是一个直接影响真空设备性能质量不可缺少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需求而发生变化。从半导体行业的快速发展和扩大干泵和分子泵应用领域为市场增长的主要驱动力。 关键词：真空泵；市场；扩大；发展 引言：目前，真空泵市场销售额约20亿美元的年增长率约为7%。我们的真空泵的制造商生产的真空泵，一共销售约15亿元，仅仅是美国KINNEY公司年度销售额[1,2]。通过对全球真空泵市场的分析我们可以看到，各类真空泵的市场及应用领域的不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础，国产真空泵在很多领域得到了应用和验证，有些泵还出口国外，得到国外客户的认可和良好的口碑，应该说，在国内和国际市场的中国真空泵制造业仍然具有巨大的发展空间。 1、水环真空泵 虽然水环真空泵属于粗真空泵，但在石油，化工，电力，纺织，造纸，医药产品方面仍有很大的市场。在国外，水环真空泵的销售额占市场总额的14%，次于干泵，所以SEIMEMS和NASH，在中国KINNEY投资建设这样的公司和建立销售网络，并在我们的市场份额不断扩大[3]。由于水环泵大部分是铸件，加工要求不高，劳动密集型产品，所以水环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。 2、旋转活塞泵 旋转活塞泵是一种油封式真空泵。因为旋转活塞泵更耐用，可靠，国内外各种真空炉，干燥设备涂布，浸液旋转活塞泵是一种旋转活塞泵前级泵，但铸造重，处理工作量较大，所以国外真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能 够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，防止泄漏和提高喷射以及旋转活塞泵长期运行的可靠性。 3、直联旋片泵 随着真空技术在各个应用领域的需求不断扩大，直联旋片泵日益增长。由于这种泵数量，加工和装配的工作量是非常大的，价格很低，所以在中国的一些外国真空制造商建立工厂。国内中小型直联旋片泵技术已通过，价格远比国外泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封泄漏和旋转叶片材料以及真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速，高温性能稳定，运行可靠，同时，进一步完善国内直联旋片泵除水蒸气的能力。 4、罗茨真空泵 从国外罗茨真空泵生产的情况来看，国外一些大公司，如莱宝，尔卡特查斯，爱德华兹，爱发科，他们每个罗茨泵的销售额占世界罗茨泵销售比例超过5%，这不仅是20%，共5家罗茨泵输出鲁本不大，但国外的罗茨真空泵价格比国产泵高很多[4]。目前，国内外具有几乎所有大型或小型的高真空和真空系统，以缩短吸气时间、提高罗茨真空泵设备生产效率，因此国产罗茨真空泵必须在占领国内市场的基础上，成功进入国际市场，所以我们必须进一步减少国内的罗茨真空泵的振动噪声，彻底解决轴封泄漏问题，提高质量和提高泵内部表面的完和清洗。另外，甚至考虑到一些国家和地区的电源频率为60Hz，更好的让罗茨真空泵在长期运行可靠的前提下提高速度。 目前，国内空气嵌入式罗茨真空泵进发展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口下方含气体冷却器，一部分通过管道泵腔冷却空气来冷却转子的运转，从而使冰箱的热量平衡，所以这种泵可以直接连接大气。为了满足极限真空泵系列的要求不同，这可以被使用，一般添加空气嵌入式罗茨真空泵，前级泵的极限真空度要达到一个高水平比。这种泵由于在泵室没有工作介质，实际上是属于干泵。目前，在石油，化工，塑料，农药有这种嵌入式罗茨真空泵及机组，汽轮机转子动平衡，航天空间模拟装置有测试的长期运行，所以应该在中国推广和应用[5]。 分子泵 在许多外国半导体工艺场合场分子泵代替低温泵，尤其是溅射，蚀刻和沉积装置采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速与直径只有低温泵的抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧安装一个130℃~ 150℃低温冷却板，称为低温分子泵，低温板气，其他气体分子被抽走[6]。这种低温分子泵在真空镀膜设备上的应用，既提高了生产效率和提高涂层质量。随着中国半导体产业，电影产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是集中于我国真空泵制造业的发展。首先，分子泵建立一套完整的体系，以及研究和开发不同的复合分子泵，牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。 6、干式机械真空泵 国外的干式机械真空泵市场不断增长，其主要驱动来自于半导体行业，化学工业，电影工业的快速发展。在日本，半导体行业已全部使用干式真空泵油密封型机械泵，而欧美半导体行业超过45%更换干式真空泵油密封型机械泵，大大提