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南京航空航天大学金城学院 毕业设计（论文）开题报告 题 目 双面研磨材料去除的均匀性研究 系 部 机电工程系 专 业 机械工程及自动化 学生姓名 李 指导教师 李军 职称 教授 毕设地点 南京航空航天大学 2011年3 月24 日 填 写 要 求 1．开题报告只需填写“文献综述”、“研究或解决的问题和拟采用的方法”两部分内容，其他信息由系统自动生成，不需要手工填写。 2．为了与网上任务书兼容及最终打印格式一致，开题报告采用固定格式，如有不适请调整内容以适应表格大小并保持整体美观，切勿轻易改变格式。 3．任务书须用A4纸，小4号字，黑色宋体，行距1.5倍。 4．使用此开题报告模板填写完毕，可直接粘接复制相应的内容到毕业设计网络系统。 结合毕业设计（论文）课题任务情况，根据所查阅的文献资料，撰写1500～2000字左右的文献综述： 双面抛光加工技术是在单面抛光加工技术的基础上发展起来的，双面抛光具有与单面抛光加工相比加工效率高，表面变形小，易获得超光滑加工表面的优点，在需求高精密的制造行业中双面抛光取代单面抛光是必然的[1]。 双面化学机械抛光基本原理与单面化学机械抛光相同，是以磨粒的微小塑性切削生成切屑为主体而进行的，在材料切除过程中会由于局部高温、高压而使工件、磨粒、加工液及抛光盘之间存在着直接的化学作用，