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第八章 纳米加工技术第一节 概述第二节 纳米材料及器件加工第三节 纳米测试技术及仪器 第四节 纳米加工及其应用 第八章 纳米加工技术 第一节概述一、 纳米科技的基本内涵纳米科技就是研究纳米尺度的物质和体系的运动规律、相互作用和在其应用中存在的技术问题。 它包括：1、纳米材料体系物理学2、纳米化学3、纳米电子学4、纳米机械学5、纳米生物学6、纳米材料学7、纳米测量学二、纳米科学技术的国际竞争态势美国、日本、德国、法国及许多欧洲国家都在纳米技术的研究上都做了很大力度的投入。与其他国家相比，我国在纳米技术方面的研究较早，现在我国纳米产品种类丰富，不少产品的量产能力居世界领先地位 ，拥有自主知识产权、令世人瞩目，纳米材料产业化开发方面总体上处世界先进行列 。第二节 纳米材料和器件及其特性 第一节纳米材料及其分类一、纳米材料的定义从狭义上说，纳米材料就是有关原子团簇、纳米颗粒、纳米线、纳米薄膜、纳米碳管和纳米固体材料等的总称。从广义上看，纳米材料应该是晶体或晶界等显微构造能达到纳米尺寸水平的材料。二、纳米材料的 分类1、按传统的材料学科体系划分，可分为：纳米晶体材料、纳米陶瓷材料、纳米复合材料、纳米高分子材料。2、按应用目分，可分为：纳米电子材料、纳米磁性材料、纳米发光材料、纳米隐身材料、纳米生物材料等。3、按维度分类 ，可分为：0维纳米材料、1维纳米材料、2维纳米材料和3维纳米材料。二、纳米材料的合成与制备（一）物理方法包括:真空冷凝法、物理粉碎法 、机械球磨法 。（二）化学方法包括：气相沉积法 、沉淀法 、水热合成法 、溶胶－凝胶法、微乳液法 。（三）纳米材料的特性1）表面效应表面效应是指纳米粒子的表面原子与总原子数之比随着纳米粒子尺寸的减小而大幅度地增加，粒子的表面能及表面张力也随着增加，从而引起纳米粒子性质的变化。2）小尺寸效应当固体颗粒的尺寸小到与光波波长、德布罗意波长等物理特征尺寸相当或是更小时，就会导致声、光、电、磁、热等新的有别于材料宏观物理、化学性质上的变化，称为小尺寸效应。其中包括：特殊的光学效应 、特殊的力学效应 、特殊的热学效应 、特殊的磁性效应 。3）量子尺寸效应量子尺寸效应是指当粒子尺寸下降到某一值时，金属纳米微粒的费米能级附近的电子能级由准连续变为离散的现象 。4）量子遂穿效应遂穿是微观粒子（如电子）穿过势垒的能力。 第三节 纳米材料测试技术及仪器一、纳米材料测试分析技术纳米材料测试分析技术包括：1）电子显微技术用于纳米材料的粒径 、微区化学成分分析、形貌观测 。2）衍射技术纳米材料的结构测定以X射线衍射为主；电子衍射则适用于测定微细晶体或材料的亚微米尺度结构；中子衍射则主要用于测量材料的晶体结构和磁结构。3）谱学技术谱学技术是分析纳米材料的化学成分分析的主要手段。它包括：紫外-可见光谱、红外光谱、X射线荧光光谱、拉曼光谱、俄歇电子能谱、X射线光电子能谱、穆斯堡尔谱、正电子湮没谱、等。4）热分析技术纳米材料的热分析主要是指差热分析(DTA)、示差扫描量热法(DSC)以及热重分析(TG)。用于研究纳米材料升温过程中粒子及粒子间相关量的变化情况.二、纳米材料测试仪器及应用研究 （一）扫描隧道显微镜(STM)及其应用研究STM的基本原理基于量子隧道效应。图7－6是STM的结构示意图。扫描隧道显微镜的优点：1）能够分辨出单个原子，故可以直接观测到单原子层表面的局部结构 ；2）STM可在不同环境条件下工作 ；3）可以测量具有周期性或不具备周期性的表面结构 ；4）可以研究纳米薄膜的分子结构等 。 （二）原子力显微镜（AFM）及其应用研究图7－7是原子力显微镜的结构示意图，其中由微悬臂和探针组成的力敏元件是仪器的核心。图7－9给出了力一距离曲线（或称力曲线），表示AFM微悬臂工作过程。 图7－6 扫描隧道显微镜结构示意图 （三）近场光学显微镜及其应用研究第四节 纳米材料的加工及应用 一、纳米材料在机械工程领域中的应用纳米材料在机械工程领域中被应用于：微型机械(MicroMachinery) 、微型机电系统、发汗金属、金属复合结构材料、纳米焊接技术方面。目前大量应用的纳米结构材料基本上都是复合材料 ，其结构如图7－11所示的分类。 图7-11纳米复合材料的分类 二、 纳米材料在建筑领域中的应用纳米材料在建筑领域中主要用于：绿色水泥工业、智能混凝土、生态建筑卫生陶瓷、生态建筑玻璃、生态涂料、生态塑料等方面。 三、 纳米材料在水处理领域中的应用纳米材料在水处理领域中主要用于：纳米光催化氧化技术、纳滤膜技术及其他纳米水处理技术方面。 四、 纳米材料在汽车领域中的应用纳米材料在汽车领域中主要用于：纳米汽油、汽车润滑剂、汽车橡胶和塑料制品、纳米涂料、汽车尾气净化方面。