光学与电子光学基础.pptVIP

材料近代分析方法 刘胜新 第二章 光学和电子光学基础 学习本章的目的和意义 为什么需要电子显微学？ 2.1光学显微镜的分辨率及其限制 2、放大原理 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（1） 　　　 L1恒＞0，L2＞0时，在另一侧得倒立的实像；L2＜0时，在同侧得正立的虚像。 3、放大倍数：为像与物的长度比＝像距∕物距 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（2）　　　　 　 　　　当 2f＞L1＞f，L2＞2f，M＞1 L1＜2f，2f＞L2＞f，M＜1 其中，l－光波长；n－物方介质折射率；a－透镜的孔径半角，即透镜所能容纳的来自物上某点的最大光锥半顶角；nsina －习惯上被称为数值孔径，可用N.A.来表示；M－放大倍数。 四、如何提高显微镜的分辨率 根据分辨率Δrd的计算公式可知，要想提高显微镜的分辨率，关键是降低照明光源的波长。 比可见光波长更短的有： 1）紫外线 ——波长在13-390nm之间，会被物体强烈的吸收； 2）X 射线 ——但是，迄今为止还没有找到能使X射线改变方向、发生折射和聚焦成像的物质，也就是说还没有X射线的透镜存在。 　　因此目前紫外线 、X射线均不能作为显微镜的照明光源。 3）电子波 　　　　电子波不仅具有短波长，而且存在使之发生折射聚焦的物质。所以电子波可以作为照明光源，由此形成电子显微镜。 电子波可做为显微镜的照明光源，这种显微镜即为电子显微镜。 2.2 光学和电子光学基础 (3) 电子波长与加速电压的关系 (4) 电子波长的相对论校正 (6)像差 包括几何像差和色差。 （1）几何像差是由于透镜几何形状上的缺陷造成的，主要是指球差和像散。 （2）色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。 (7) 影响电磁透镜分辨率的因素 (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 图12　短线圈磁场中的电子运动示意图 说明：电磁透镜具有与光学玻璃透镜相似的光学原理　　 　　上述讨论了最简单的电磁透镜－短线圈磁场的聚焦成像原理。其缺点是：①部分磁力线在线圈外，对电子束聚焦不起作用；②磁感应强度低。　　　 (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 提高电磁透镜聚焦能力的措施： 　　将软线圈装在由软磁材料（低碳钢或纯铁）制成的具有内环形壳子里。　 图13 带软磁壳的电磁透镜 磁感应线分布 等磁位面形状 软磁壳内孔和环形间隙的尺寸越小，间隙附近区域磁场强度越高，对电子的折射能力越强，相应透镜的焦距越短。　　　 (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 　　但在实际应用时，由于加工精度问题，通常采用将极靴组件套在软磁壳内环形间隙的两端，即通常使用有极靴的电磁透镜。　　 图13有极靴的电磁透镜剖面示意图 　　　为了进一步缩小磁场的广延度，使大量磁力线集中于缝隙附近的狭小区域内，接出一对顶端成圆锥状的极靴。 　　带有极靴的电磁透镜可使有效磁场集中到沿透镜轴向几毫米的范围之内。　　 (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 图14　极靴组件分解 　　　　　　　　　　　固定光阑 图15　有短线圈、有极靴和无极靴三种电磁透镜轴向磁感应强度分布 　　　　　　　　　　　 有极靴的聚集能力最强 有极靴 B（z） 没有极靴 无铁壳 z (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 1. 需改变很高的加速电压才可改变焦距和放大率； 2. 静电透镜需数万伏电压，常会引起击穿； 3. 像差较大。 1. 改变线圈中的电流强度可很方便的控制焦距和放大率； 2. 无击穿，供给磁透镜线圈的电压为60到100伏； 3. 像差小。 静电透镜 磁透镜 表1　磁透镜和静电透镜相比有如下的优点 目前，应用较多的是磁透镜，这里只分析磁透镜的工作原理 (3)磁透镜和静电透镜性能对比 (1)电子波的波长λ＝h∕mv（E＝hν=h/λ=mv）； (2)电子速度与电压的关系 　　对v0＝0的电子，在加速电压U的作用下，速度达到v，则动能E为： (4)电磁透镜的缺陷和理论分辨本领 表2不同加速电压下的电子波波长 0.00087 0.00142 0.00251 0.00285 0.00334 λ/nm 1000 500 200 160 120 U/KV 0.00371 0.00418 0.00487 0.00601 0.00859 λ/nm 100 80 60 40 20 U/KV (5)由衍射效应产生的EM的分辨本领 （5） 球差（球面相差）