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光学调整架稳定性检测装置的研制 　　摘 要：该文提出了一种测量光学调整架稳定性的检测方法，建立了整套的测量装置。该装置可对所有能够安装光学镜片的调整架的稳定性进行检测，检测精度高，测试时间长，使用简单，造价低廉。为国内该领域填补了空白。 　　关键词：光学调整架 稳定性 检测 　　中图分类号：TH204 文献标识码：A 文章编号：1674-098X（2014）06（a）-0091-02 　　随着激光技术的发展，激光系统也日益复杂，其主要组成部分光学元件的种类与数量都有大幅度的增长。在复杂的激光系统中，光学元件的稳定性对整体系统有非常重要的意义。由于光学元件是安装在各种光学调整架上的，因此调整架的长期稳定性直接决定了激光系统的稳定性。该文我们提出了一种简易的测量调整架稳定性的方式，并研制成装置，使用更加方便，编制了程序可自动对数据进行记录和计算。 　　1 调整架稳定性检测装置简介 　　将一束激光打在安装有镜片的光学调整架上，镜片将激光反射回光电位置探测器（PSD）表面，软件自动记录坐标并经过简单计算就可以获得调整架在X和Y方向上的漂移数据。 　　2 调整架稳定性检测装置硬件构成 　　该测量装置的核心硬件是激光器，PSD，反射镜，选光器和相应的控制电路。该装置使用的激光光源选用小于5 mW的He-Ne激光。NEWFOCUS公司生产的M2931型PSD，关键参数为： 　　光电探测器面积：9 mm×9 mm 　　位置分辨率：0.5 μm 　　数字信号输出：USB2.0 　　该测量系统中的除电路控制器之外的全部硬件，全部安装在的光学平板上，系统外部再以铁制外壳封装，外壳预留出走线孔和出光、进光孔，以静电喷涂工艺制成黑色，避免外界背景光形成干扰，也令该装置整体美观。系统结构如图1。 　　一个半透半反的分束镜将激光分成2束，一束透射至待测镜架并反射到PSD表面，称之为目标光，一束由分束镜直接反射至PSD表面作为反馈光路，称之为参考光。将分束镜至待测镜架和PSD的两束光光程分别命名为L2和Ll，待测镜架至PSD的光程为L。 　　由于目标光和参考光是同时入射到PSD表面的，为了分别测量，需要增加一个电路控制的选光器，分别对二束光进行遮挡测量，再由软件对二束光的坐标位置进行分别记录和计算。 　　引入描述系统漂移的两个参数，设激光器自身的角度漂移为β，待测镜架的角度漂移为α。为简单起见，仅以β和α代替X或者Y其中一维的漂移角。需进行计算的，即为从PSD的数据输出中消除掉β，求出α就可以获得调整架漂移量，镜架漂移计算如公式一： 　　αx=（ΔX/2L）-[（L+L0+L2） Δx’]/[2L（L1+L0）] 　　αy=（ΔY/2L）-[（L+L0+L2） Δy’]/[2L（LI+L0）] 　　软件会分别从PSD读取Δx’（Δy’）和ΔX（ΔY），再测量出L，L0和L2的实际尺寸，再经过软件计算就可以获得调整架漂移角度的数据。 　　在实际系统中，为了获得较高分辨率，PSD距离激光器和待测调整架都需较长。调整架放置于该测量系统外部，距离不受限制，激光器放置于系统内部，以当前最稳定的方式，将反射镜片和分束镜都以胶粘合的方式，粘在一体成型的镜台上，镜台与光学平板以M6螺钉紧压固定。经测量，此种反射镜固定方式的稳定性非常优异，不会对测量精度造成影响。为了加长距离，在系统内以反射镜进行若干次反射，再入射至PSD表面。 　　3 调整架稳定性检测装置软件构成 　　计算机与电控制器以RS232端口相连，RS232端口用于向程序发送指令判断当前测量的为哪一束光，与PSD以USB2.0端口相连接。程序以VB语言编译，运行过程如下： 　　接通电源后，电控制器每隔4.8 s（可调）发送一个电信号，对选光器进行顺（逆）时针的旋转，分别遮挡二束光路，同时也对程序发送信号，标称当前允许通过的是目标光或是参考光，程序将记录坐标数据，采样率为10组坐标/秒，在第一个4.8 s的时间范围内，假设允许通过的是目标光，由于选光器旋转需要一定的时间，因此程序以中间的3秒所记录的为准确数据，将这30组坐标取平均值，可以获得在第一个4.8秒内目标光的平均坐标，程序将这一坐标记录入“目标光”数据库，并定之为ΔX（ΔY）。 　　第一个4.8 s结束后，电控制器发送信号至选光器，选光器遮挡目标光，在记录中间30组参考光的坐标值并取平均后，程序将这坐标记录入“参考光”数据库，定之为Δx（Δy）。程序将按上述公式一对这二个坐标进行计算，最终可获得在9.6 s内调整架的实时漂移量。在第一个完整的9.6 s内，计算出来的漂移量为（x0，y0），之后的坐标为（xi，yi）（0≤i），程序将每一个坐标显示值定义为（xi-x0，yi-y0），即，程序将第一个坐标值定