过程控制系统与仪表素材作者王再英第2章3课件.pptVIP

扩散硅压力变送器 2.3.3.4 压电式压力传感器 利用某些材料的压电效应原理制成。具有这种效应的材料如压电陶瓷、压电晶体称为压电材料。 压电效应：压电材料在一定方向受外力作用产生形变时，内部将产生极化现象，在其表面上产生电荷。当去掉外力时，又重新返回不带电的状态。这种机械能转变成电能的现象，称之为压电效应。 ＋ F ＋ ＋ ＋ － － － － 压电材料上电荷量的大小与外力的大小成正比。 如图所示，压电陶瓷的极化方向为z轴方向。如果在z轴方向上受外力作用，则垂直于z轴的x、y轴平面上面和下面出现正负电荷。 z y x F ＋ F ＋ ＋ ＋ － － － － 压电材料作为力敏感元件，从其输出特性可以看作是一个电荷源（静电发生器）；从其材料特性可以等效为一个电容。其等效电路为： Ca—等效电容 Ra—等效漏电阻 后接电压放大器或电荷放大器即可。 Ca Ra Ua 电压源 ＋ － Q Ca Ra Ua 电荷源 ＋ － 过程控制系统与仪表 第2章 2.3 压力检测及仪表 压力是工业生产中的重要工艺参数之一。如在化工、炼油等生产工艺中，经常会遇到压力，包括高压、超高压和真空度（负压）的测量。 2.3.1压力检测的方法 工程上习惯把垂直作用于作用单位面积上的力称为 “压力”。即