温密等离子体报告.docVIP

等离子体气体放电研究报告 物理学院 1502硕 吴旭明 M201570111 一：摘要 等离子体是由大量的带电粒子组成的非束缚态体系，是继固体、液体、气体之后物质的第四种聚集状态。等离子体有别于其他物质的主要特点是其中长程的电磁相互作用起支配作用，等离子体中粒子与电磁场耦合会产生丰富的集体现象。气体放电是产生等离子体的一种常见现象，在低温等离子体材料表面改性、刻蚀、化学气象沉积、等离子体发光等方面有广泛的应用，同时也是实验室等离子体舞台特性研究的重要对象。气体放电实现的方式可以千差万别，但产生放电的基本过程是利用外电昌加速电子使之碰撞中性原子或是分子来电离气体。 本次调研是对其实验就行研究，目的是领会气体放电的基本原理和过程，掌握常规的静电探针诊断方法；了解等离子体中离子声波的激发、传播、阻尼等基本特征。 关键字：等离子体、气体放电、探针等 二：气体放电实验 等离子体是一种由等量正负电荷离子和中性粒子组成的电离气体，其中正负电荷密度相等，整体上呈现电中性。等离子体可分为等温等离子体和不等温等离子体，一般气体放电产生的等离子体属不等温等离子体。描述等离子体的一些主要参量有电子温度Ｔe、带电粒子密度、轴向电场强度ＥL、电子平均动能Ｅe、空间电位分布等。 2?气体放电原理 ?气体放电可以采用多种能量激励形式，如直流、微波、射频等能量形式。其中直流放电因为结构简单、成本低而受到广泛应用。直流放电形成辉光等离子体的典型结构如图所示。 3?稀薄气体产生的辉光放电? 本实验研究的是辉光放电等离子体。辉光放电是气体导电的一种形态。当放电管内的压强保持在1０-1０2Pａ时，在两电极上加高电压，就能观察到管内有放电现象。辉光分为明暗相间的8个区域，在管内两个电极间的光强、电位和场强分布如图2所示。正辉区是我们感兴趣的等离子区。其特征是：气体高度电离；电场强度很小，且沿轴向有恒定值。这使得其中带电粒子的无规则热运动胜过它们的定向运动。所以它们基本上遵从麦克斯韦速度分布律。由其具体分布可得到一个相应的温度，即电子温度。但是，由于电子质量小，它在跟离子或原子作弹性碰撞时能量损失很小，所以电子的平均动能比其他粒子的大得多。这是一种非平衡状态。因此，虽然电子温度很高（约为1０5Ｋ），但放电气体的整体温度并不明显升高，放电管的玻璃壁并不软化。 图1 气体放电管工作原理图 图2辉光放电的唯相结构示意图 三?等离子体诊断实验及数据处理? 测试等离子体的方法被称为诊断，它是等离子体物理实验的重要部分。本实验采用的诊断方法为探针法。探针是封入等离子体中的一个小的金属电极，以放电管的阳极或阴极作为参考点，改变探针电位，测出相应的探针电流，得到探针电流与其电位之间的关系。本实验采用单探针法和双探针法。?1）单探针法。? 单探针法实验原理图如图2.3-8所示。实验采用电脑化Ｘ-Ｙ记录仪和等离子体实验辅助分析软件，测量伏安特性曲线，算出等离子体参量。微机内已安装数据采集软件以及等离子体实验辅助分析软件。? 接通仪器主机总电源、探针单元电源和放电单元电源，显示开关置“电压显示”，调节输出电压使之为300Ｖ以上，再把显示开关置“电流显示”，迅速按下并松开“高压触发”按钮，使放电管触发并正常放电。由于放电单元输出的是高压，应得所有的实验线路接好后才接通放电单元，一旦放电单元接通后，就不允再用手去碰任何电极，以免注意事项触电。 随后将放电电流调到约90ｍＡ附近。将探针单元输出开关置“正向输出”，启动微机，运行电脑化Ｘ-Ｙ记录仪数据采集软件，选择合适的量程。在接线板上选择合适的电阻1000Ω。 图三单探针实验原理图 图5 U-LnI曲线末端放大 将选择开关置“自动”，则探针电压输出扫描电压，当需要回零时，按“清零”按钮，电压又从零开始扫描。让函数记录仪自动记录单探针的Ｕ-Ｉ特性曲线，并将数据保存。将保存的数据导入分析软件Origin8.0中，绘出单探针伏安特性曲线，如图3所示。对该图的解释如下： 在ＡＢ段，探针的负电位很大，电子受负电位的拒斥，而速度很慢的正离子被吸向探针，在探针周围形成正离子构成的空间电荷层，即所谓“正离子鞘”，它把探针电场屏蔽起来。等离子区中的正离子只能靠热运动穿过鞘层抵达探针，形成探针电流，所以ＡＢ段为正离子流，这个电流很小，如图3中的左图所示。 过了Ｂ点，随着探针负电位减小，电场对电子的拒斥作用减弱，使一些快速电子能够克服电场拒斥作用，抵达探极，这些电子形成的电流抵消了部分正离子流，使探针电流逐渐下降，所以ＢＣ段为正离子流加电子流。 到了Ｃ点，电子流刚