《半导体生产与洁净度.pptVIP

半导体生产与洁净度 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 半导体特性决定其制造过程必须有洁净度要求 杂质对半导体的特性有着改变或破坏其性能的作用，所 以在半导体器件生产过程中对什么都必须严格控制，杂 质有各种各样的，如金属离子会破坏半导体器件的导电 性能，灰尘粒子破坏半导体器件的表面结构等。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、生产环境洁净 半导体器件生产环境要求很严，要求恒温、恒湿，按单位体积中规定的尺寸灰尘粒子为标准分成洁净度的等级。一般分为10级、100级、1000级、10000级、100000级。 我们车间扩散间是1万级，其它区域是 洁净度以每立方米（或叫每立方英尺）空气中的最大允许粒子来确定。等级名称为每立方米空气中大于等于0.5微米的最大允许粒子数的常用对数值（以10为底），(英制单位是等级名称为每立方英尺空气中大于等于0.5微米的最大允许粒子数) Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 检测（颗粒测试仪） 1）浮游粒子洁净度的检测（颗粒测试仪） 采样：任何洁净区的取样点不少于2个，除受洁净区划内的设备限制外，取样点应在整个洁净区均匀分布，每个选定的取样点应至少取样一次。在一个区内总共应最少取样5次，每个取样点取样应多于一次，而不同的取样点取样次可以不同 2）取样量度和取样时间：取样量不少于0.00283立方米（合0.1立方英尺），并且计算所得取样量结果不得四舍五入。取样时间可以用取样量除以取样速率来计算。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 洁净度的理解 洁净度指洁净空气中空气含尘（包括微生物）量多少的程度。 　　美国联邦标准中洁净室等级标准换算，每一等级都对每立方米空气中直径大于等于0.5um 的灰尘粒的数量有严格的规定。《规范》还详加注明：“对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。”硬盘的工作环境要求是10级，这几乎达到了最理想状态下的无尘，也是普通工作环境所不可能做到的，更是任何民用资金都无法实现的。然而从现实角度来看，100级还是可行的，毕竟数据恢复过程只需要短时间，暂时不会造成很大的影响。只不过100级洁净间的资金投入相当大，几乎绝大部分数据恢复服务商都不具备这样的实力。 　　实力较小的服务商可能会选择1000级洁净间，此时已经严重影响了效果。然而更为惊人的是，部分服务商甚至采用万级洁净间，这对于硬盘实在是巨大的伤害，很可能导致原本有希望恢复的数据付之一炬。不过由于数据恢复行业的特殊性，即便操作失败也无需承担责任，因此这类选择低成本投入的服务商宁可牺牲成功率以换取低价格，以此来吸引部分并不懂行的客户。更加让人瞠目结舌的是，为了欲盖弥彰，这些服务商居然号称万级洁净间、十万级洁净间，企图以错误的概念来混淆视听，让客户误以为数值越高反而洁净程度越高。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 洁净度洁净室达到洁净度要求的必要条件 一、送风洁净度 要保证送风洁净度符合要求，关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。 净化系统末级过滤器一般采用高效过滤器或亚高效过滤器。 按我国标准[1]规定： 高效过滤器效率分四档:A类为≥99.9%，B类为≥99.9%，C类为≥99.999%，D类为(对≥0.1μ m粒子)≥99.999%(亦称超高效过滤器); 亚高效过滤器[2]为(对≥0.5μm粒子)95~99.9%。 效率越高，过滤器的价格也越贵。 Evaluation only. Created with Aspose.Slid