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南京理工大学 * 电子波及电磁透镜聚焦 第一章 电子光学基础与电子显微镜 1-1、电子光学基础 电子具有微粒性，同时又具有波动性。电子波的波长取决于电子运动的速度和电子的质量，如果电子经过电压 U 加速，有关系： 得电子波长 加速电压较低时，电子的质量即为其静止质量，但是电压很高时，要考虑引入相对论的修正。 电子波波长 电磁透镜 原理：电子在电场或磁场的作用下，可以改变其运动方向。 洛仑兹力 电子束聚焦的实现 轴对称电磁场对电子束的透镜聚集效应，奠定了几何电子光学的基础。 v Br Ft Bz Fr vt 圆锥螺旋近轴运动 电子运动形式 通过改变电磁透镜的激磁电流，可以改变电磁透镜的焦距。电磁透镜是一种可改变焦距的透镜。 成像公式与光学透镜的相类似，可表示为： Lo 为物到透镜中心的距离，即物距； Li 为像到透镜中心的距离，即像距； f 为透镜的焦距。 放大倍数M： 像差 电子的波长很短，推算理论的分辨率可以轻易地达到0.02? (加速电压100 KeV, 波长0.037?)。 实际上无法达到如此高的分辨本领。 像差可以分为两类，几何像差和色差。 几何像差是由于电磁透镜几何上的缺陷造成的，主要有球差和像散。 像差 球差 球差是由于电磁透镜的中心区域和边缘区域对电子的会聚能力不同而造成的。 球差造成的散焦斑的半径折算到物平面上，表示为： Cs 为球差系数，对物镜来说通常为1-3 mm。? 为孔径半角。 像散 像散是由于电磁透镜的磁场不对称造成的。 散焦斑的半径可表示为： ?fA ：不对称引起的焦距差； ? 为孔径半角 解决方法：用矫正磁场进行补偿，即消像散器。 色差 色差是由于电子的能量不均一，即电子波长非单一造成的。 散焦斑的半径还原到物平面： Cc 为色差系数； ?E/E 为电子能量的变化率。 综合考虑球差、像散、色差对分辨率的影响， 较精确的理论分辨率： A约为0.4-0.55 以100kV电子束为例，Cs＝0.88mm； 分辨率约为0.2nm 1.2 透射电子显微镜 定义：透射电子显微镜是以电子束为照明源，用一系列电磁透镜聚焦成像的一种大型的电子光学仪器。 主要的组成部分有： 电子光学系统（主体部分） 电源和控制系统及真空系统（辅助部分）。 电子光学系统，是电镜的核心。 主要有三部分组成： 照明系统、 成像系统 观察记录系统。 该系统分成两部分：电子枪和聚光镜。 电子枪由灯丝(阴极)、栅级和阳极组成。经加速而具有能量的电子从阳极板的孔中射出。栅极起控制电子束形状的作用。 经聚光镜调节后，可望得到发散角很小的平行电子束。电子束的电流密度(束流)可通过调节会聚镜的电流来调节 。 照明系统 ????该系统包括样品室、物镜、中间镜、物镜光阑、选区光阑、投影镜等电子光学部件。 观察记录系统 成像系统 电镜与光镜比较 简单 复杂 操作与制样 变换物镜或目镜 改变透镜电流 放大操作 玻璃 电磁场 透镜 约1000 几十到几百万 放大倍数 200nm 0.2nm 最佳分辨率 空气 真空 介质 可见光 电子束 照明源（射线源） 光镜 电镜 电子光学系统的光路原理 与光学显微镜的类似 物镜（objective lens） 南京理工大学