第5章精密加工中的测量技术精选.pptx

第5章 精密加工中的测量技术5.1 精密测量技术概述5.2 测量基准5.3 直线度、平面度和垂直度的测量5.4 角度和圆分度的测量5.5 圆度和回转精度的测量5.6 激光测量 5.7 自由曲面的测量第1节 精密测量技术概述一、精密测量的意义 精密测量技术是机械工业发展的基础和先决条件之一。由于有了千分尺类量具，使加工精度达到了0.01mm，有了测微比较仪，使加工精度达到了1μm左右；有了圆度仪等精密测量一起，使加工精度达到了0.1μm；有了激光干涉仪，使加工精度达到了0.01μm。 目前在基础工业的某些领域，精密测量已成为不可分割的重要组成部分。在电子工业部门，精密测量技术也被提到从未有过的高度。例如制造超大规模集成电路，目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm，正向0.18μm过渡，2009年的预测线宽是0.07μm。此外，在高纯度单晶硅的晶格参数测量中，以及对生物细胞、空气污染微粒、石油纤维、纳米材料等基础研究中，无不需要精密测量技术。第1节 精密测量技术概述一、精密测量的发展1.极高精度测量方法的测量仪器的发展（用双频激光测量系统和X射线干涉仪测量长度能达到0.1nm，用扫描隧道显微镜和原子力显微镜测量表面微观形貌可达0.1nm，精密测角仪可达0.01）2.精密在线自动测量技术的发展（新的三坐标测量机都有精密数控系统，可自动完成复杂零件的全部测量）3.测量数据的自动采集处理技术的发展（很多测量仪器都具备数据处理软件，可将复杂的测量结果数据处理后显示并打印出来）第1节 精密测量技术概述二、精密测量的环境条件1.恒温条件2.隔振条件3.气压、自重、运动加速度和其他环境条件（100mm长的刚棒垂直放置，由于自重会使材料产生压缩变形，长度约缩短0.002μm）三、量具和量仪材料的选择1.根据材料热膨胀系数选择2.根据材料的稳定性和耐磨性选择（过去量具常用淬火轴承钢GCr15，有较高的硬度和耐磨性，但该材料的淬火马氏体中有残留奥氏体，长期使用会因残生相变使体积和尺寸变化，每年每100mm约为0.02μm，尺寸稳定性差；近年很多量具改用氮化钢（38CrMoAl）制造）第2节 测量基准一、长度基准和米定义 米制是18世纪法国最早提出的，“以经过巴黎的地球子午线自北极至赤道这一段弧长的一千万分之一为一米”。1880年国际计量局又制作了30多根铂铱合金的高精度米尺——国际米原器。 1960年10月14日在巴黎通过用氦Kr86在真空中的波长作为长度基准：1m＝1650763.73 * Kr86的波长。 1983年11月第17届国际计量大会上，批准了米的最新定义。 新定义的内容：米是光在真空中在1/299 792 458 s的时间间隔内所行走的路程长度。第2节 长度基准二、量块的检定 量块是由两个平行的测量面之间的距离来确定其工作长度的高精度量具，其长度为计量器具的长度标准。按JJG2056－1990《长度计量器具（量块部分）检定系统》的规定，量块分为00、0、K、1、2、3六级。我国对各类量块的检定按JJG146-1994进行。 为了使用上的需要常将各级精度的量块进行检定，得到量块的实际长度，将检定量块长度实际值的测量极限误差作为误差处理。第2节 长度尺寸测量三、工厂自己专用的长度基准 美国穆尔公司经过实践和反复研究，采用圆柱端面规作为长度基准。外圆柱面可磨到很高圆柱度，水平放在V形支架内，可旋转以校验端面和外圆柱面的垂直度，容易达到两端面的高度平行。 既圆柱端面规后又制成步距规，英制的步距规每一步距的增量为1in（全长18和16in），公制的步距规每一步距的增量为30mm（全长480mm）。全长步距的误差不超过0.05μm。第2节 长度尺寸测量四、平台---测量基准1.平台的选择1）平台精度等级测量平台采用00或0级，生产中使用的平台的测量表面多数为矩形，长宽比约为4：3，高精度的平台采用正方形台面，平面度达到0.6μm。2）平台结构过去采用平板下加加强筋，有三个支承点架在底架上，刚度不高。现在多数采用箱式结构，扁平的箱中有加强筋支承，刚度高。3）测量平台的材料铸铁：耐磨性，短期稳定性，受潮生锈但不变形，碰撞后表面会出毛刺；花岗岩：耐磨性，长期稳定性，受潮变形但不生锈，碰撞后表面可能出小坑。第2节 长度尺寸测量2.测量平台的支承大型测量平台常采用多点支承法。如图，有9个受力支承点，实际上仍是采用三点支承一平面的原理。采用该种方法各支撑点间距离缩小，平台受力变形减小，测量精度提高。3.测量平台的本身的精度检验 常用三块平台轮流对研，找出凸起进行刮研，直到接触斑点分布均匀。对高精度测量平台用电子水平仪、自准直光管或双频激光干涉仪，测出平台的水平倾角，经过数据处理，可得到平台各处不平面度误差的具体数值。第3节 直线度、平面度和垂直度的测量