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宇宙用Ｘ線CCDカメラ―CCD-CREST―の性能評価 辻本匡弘、濱口健二、 粟木久光、鶴剛、小山勝二 （京都大学理学部物理学第二教室） 0. アブストラクト CCD検出器は、宇宙Ｘ線検出器として日本のASCA衛星にSIS(Solid-state Imaging Spectrometer)が搭載されその高い能力を発揮して以来、観測衛星に定番の検出器となっている。 我々のグループは「画素の小さいＸ線検出用ＣＣＤの開発研究」という戦略的基礎研究に基づき、阪大常深研、浜松ホトニクス(HPK)社と協同で宇宙Ｘ線ＣＣＤの開発を行っている。HPK社側がＣＣＤチップの作成を、大学側がチップの性能評価を分担している。 本講演では、HPK社製ＣＣＤ検出器 ---CCD-CREST--- を用いて我々のグループがさまざまな駆動条件の下で行った性能評価の結果を報告する。 なお、本講演内容及び我々のグループのＣＣＤ検出器開発に関してはhttp://www-cr.scphys.kyoto-u.ac.jp/member/xrayhardにて公開している。 １．宇宙Ｘ線ＣＣＤ検出器 宇宙Ｘ線を測定するデバイスとしては、比例計数管をはじめＣＣＤ検出 器、カロリーメータ、ＴＥＳなどが挙げられる。 そのなかでもＣＣＤ検出器は　１、撮像ができる　２、高い精度のエネル ギー分解能を有する　３、検出効率が高い　などの特徴を有する万能 選手であり、今年打ち上げに成功した Ｃｈａｎｄｒａ（米）、ＸＭＭ（欧）及び 来年打ち上げ予定の　Ａｓｔｒｏ－Ｅ（日）の全てのＸ線観測衛星に搭載さ れている。 ただ、ＣＣＤ検出器は電荷転送に時間がかかるため、Ｘ線天文学では 必須の時間分解能があまりよくない。また最近では、ＣＣＤ検出器よりも エネルギー分解能の高いカロリーメータなども実用化されている。従っ て今後は、ＣＣＤ検出器に特化した情報（位置分解能や偏光など）を 精度よく測定できる検出器が望まれるであろう。本研究ではこれを踏ま えて「ピクセルサイズの小さい」ＣＣＤ検出器の実用化を目指している。 ２．Ｘ線ＣＣＤ検出器の開発体制 戦略基礎研究「画素の小さいＸ線検出用ＣＣＤの開発研究」に基づいて開発が行われている。 大阪大学、京都大学、浜松ホトニクス社（ＨＰＫ）の共同開発（ＨＰＫ側がチップの製作、大学側がチップの性能評価を担当） 現在はテストチップを用いた性能評価の段階 最終目標は 　　　（１）読み出しノイズ… ５ [electrons] 　　　（２）空乏層厚… ５０[μｍ] （努力目標１００[μｍ]） （３）エネルギー分解能… １３０［ｅＶ］@５．９[ｋｅＶ] の性能を持つ衛星搭載可能なチップを完成すること。 ３．測定システム紹介 我々のグループでは CCD実験を実験室レベルで容易にできるようにする（→できるだけ市販の製品を組み合わせて、システムを構成し、 手作りの部分をなくす）。 いろんな CCD を、いろんな動作モードで動作させることができる（→任意のクロックパターンとクロック電圧がだせるようにする）。 ことを念頭に測定システムを構築 している。右図は我々の測定シス テムの写真である。構成などは予 稿集を参照していただきたい。 ４．ＣＣＤ検出器の紹介 今回我々が測定に用いた ＣＣＤチップ、ＨＰＫ社製ＣＣ Ｄ－ＣＲＥＳＴは以下のよう な特徴を持つ。 転送方式 Full Frame Transfer 駆動方式 縦横２相クロック フォーマット １０２４×１０２４pixels 有効受光領域 ２５ｍｍ×２５ｍｍ また、このＣＣＤチップはＸ線用なので、表面にアルミコーティングをして可 視光を反射している。 ５．実験の概要 今回我々は、ＣＣＤ検出器の性能を高める３種類の実験を行った。 CCD検出器の性能を表す指標はいくつか考えられるが、今回はそのう ち、エネルギー分解能を高める及び空乏層を厚くする＝検出効率を高 めることを目標に実験を行った。 実験Ａ　…　ななめ入射実験（入射Ｘ線をＣＣＤ面に対して斜めに入射する）。 →　ねらい　：　空乏層を厚くする。 実験Ｂ　…　多重相関サンプリング読み出し実験（サンプリングの回数を増やして読み出しノイズを抑える）。 →　ねらい　：　エネルギー分解能を高める。 実験Ｃ　…　蓄積?転送電圧実験（電荷蓄積中の電圧を転送中の電圧より高く設定する。） →　ねらい　：　空乏層を厚くする。 ６．実験Ａ：セッティング ７．実験Ａ：実験結果 １０．実験Ｂセッティング 半導体を構成する媒質の平均電離エネルギーエネルギーを w [eV] とすると、E[ev]　のエネルギーを持つＸ線が入射した時に E/w 個の電子が発生する。Ｘ線ＣＣＤ検出器では、