PECVD日常报警说明解析.ppt

PECVD日常报警说明 管式PECVD日常报警说明 Process recipe has terminated with error state----Alarm ACK----(1)to store(2)to store enable unload(3)Restart recipe . 说明：进行中的工艺以错误的状态结束----警报确认----（1）储存（2）储存并卸下（3）重新开始工艺。 (1)用错工艺号，手动结束工艺，重新开始新的其它工艺时进行选择。 (2)多数情况下选择此项。； (3)工艺中断需要重新进行时选择，选择前应查看镀膜情况。 1 管式PECVD日常报警说明 Boat already in tube----select: [ process=0 unload=1]. 说明：石墨舟已经在管内----选择[运行工艺=0 取出卸下=1]。 当管内有石墨舟时，异常排除后手动运行工艺时会出现这样的提示，查看镀膜情况后在做选择。 2 管式PECVD日常报警说明 Lost homing, check position. 说明：失去引导，检查位置。 此报警会自动解除，只需要检查一下桨是否在原点的位置即可。 3 管式PECVD日常报警说明 HFGen out of 1st(2nd) tolerance. 说明：高频发生器超过第一（二）个位置，如果在镀膜中退出，如已经沉积到氮化硅，检查镀膜时间后，选择手动工艺输入剩余时间。 通常出现这样的报警有三种情况： (1)石墨舟的电极孔放反。 (2)石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中间。 (3)炉内的碎片太多，石墨电极底部接触到碎片形成两片电极之间的短路。 4 管式PECVD日常报警说明 Recipe abort2----process abort! TO continue: enter AB. 说明：工艺推出----运行终止。继续输入AB。 对工艺异常确认输入AB后，会出现第（一）个报警 5 管式PECVD日常报警说明 Vacuum tube out of 1st(2nd) tolerance. 说明：石英管内的真空度超过第一（二）个限值。 系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次，由于某种原因导致抽真空被延时，在特定的时间内无法达到真空设定值的要求，系统会出现这样的报警，检查一下状态栏中的压力值和真空泵的工作是否正常，如正常过几分钟后报警会自动解除；如果此报警连同第（八）个报警一起出现的话，联系工序长和领班。 6 管式PECVD日常报警说明 Boat sensor of grab has changed without permission. 说明：机械手上的传感器被非允许移动。 机械手喜爱上下移动时不会前后移动，若这时前后的位置发生变化，机械臂将会被锁定，出现报警。此警报需要通知工序长或领班。 7 管式PECVD日常报警说明 Collective alert pump st.1 说明：真空泵报警。 一般情况下是由于真空泵的负压太大，导致报警。如复位无效的话通知工序长或领班。 8 管式PECVD日常报警说明 Gas N2(SiH4、NH3)out of 1st(2nd) tolerance. 说明：特气氮气（硅烷、氨气）超过第一（二）个限值。 出现这种报警的原因是多面的：高频放电失败、管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定（冷却水报警），都会出现这样的报警，出现超过第一个限值报警，只是警告；超过第二个限值报警出现后工艺会自动停止，此时报警消失，出现第五个报警信息 9 管式PECVD日常报警说明 Warming: check SiH4 distribution. 说明：警告,检查硅烷的流量。 检查硅烷的流量是否于设定值吻合，如果不是退出并重新运行工艺 10 管式PECVD日常报警说明 Recipe couldn’t de started. please check protocol for reason.。 说明：工艺不能被运行，请检查原因。 原因：此管已有一个工艺在运行；此管没有你要选的工艺文件；状态不正确 11 管式PECVD日常报警说明 There is already an active recipe ××× form local listing. 说明：已经有×××工艺在此管的工艺列表中。 十一、十二俩个报警有时会一起出现，终止任何一个报警都会解除。 12 管式PECVD日常报警说明 Tube ready in undefined please ensure that the CESAR loading machine is at“0” position and softlander is “UP”. 说