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[微系统封装基础
3.4 多芯片模块/组件(MCM:mulit-chip module) 3.5 三维立体封装(3D) 3.有源基板型3D 3. SIP的主要应用 4. 面向未来的SOP概念 5. SIP中的关键技术 实现叠层型3D封装的两种方法: 封装内的裸片堆叠 封装内的封装堆叠或称封装堆叠 1. 叠层型3D封装 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 以錫球型态接合的叠层3D封裝 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. ·因为裸片堆叠CSP在开发Z方向空间(即高度)的同时还保持了其X和Y方向上的元件大小(厚度即使增加也是非常小),这种封装已经被很多手机应用所接受。裸片堆叠CSP封装的主要缺点是,如果堆叠中的一层集成电路出现问题,所有堆叠的裸片都将失效。 ·封装堆叠使得能够堆叠来自不同供应商和混合集成电路技术的裸片,也允许在堆叠之前进行预烧和检测。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 裸片堆叠和封装堆叠比较 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 关键技术 1.芯片厚度的控制 :晶圆的减薄, 背面研磨到100微米以下.在晶片背面机械研磨过程中,硅晶粒形变很容易导致应力。——引发裸片破裂、扭曲。 CMP,湿刻蚀和等离子刻蚀 50 ,极限10-20 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. (a)支架型针脚焊 (b)金楔焊 (c)极低环路焊接 2. 引线焊接技术 :线焊技术是决定封装堆叠模盖最小高度和S-CSP裸片堆叠高度的一个关键因素 。 3. 裸片堆叠技术 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 4 .薄模成型技术 :为了能够堆叠封装,底部封装模盖的厚度必须小于顶部堆叠封装焊接球支架的高度。对于球间距为0.5-0.8毫米的CSP,紧凑型产品中已经广泛采用0.2-0.4毫米的球支架高度 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. ——在各类基板内或多层布线介质层中“埋置”R、C或IC等元器件,最上层再贴装SMC/SMD来实现立体封装。 2. 埋置型3D Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. Si圆片规模集成(WLS)后的有源基板上再实行多层布线,最上层再贴装SMC/SMD。 高导热 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. ( 1 )复合基板材料,由热固性树脂及无机填料构成。 (2)电子元器件的埋入技术 ( 3 )内部互连技术,一般是通
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