SEM 操作使用手册.docVIP

Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜 简明操作指南 一、开机说明 冷启动步骤 启动UPS 打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。 启动循环水冷机。 按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。 检查出水口压力在2～3bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。 若有报警，检查水位，按Res键。 启动空气压缩机。 确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为5～6bar。 确认主机后两个电源开关状态为On。 此时，主机前面板上红灯亮。 按下黄键。 说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。 按下绿键。 按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码： 启动SmartSEM软件。 用户名： system 密码： 检查真空值，等待真空就绪。 注意：当System Vacuum2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。 当Gun 开启灯丝。 10、开TV，检查样品台。 11、装样品(见第二部分)。 12、加高压(EHT)。 13、观察样品。 待机状态 关闭高压(EHT)。 关闭SmartSEM软件。 注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。 关Window