[3.2构建发展阶梯.ppt

非晶硅薄膜制备方法 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 物理气相沉积（physical vapor deposition, PVD） 化学气相沉积（chemical vapor deposition, CVD） 非晶硅薄膜制备方法 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 化学气相沉积 化学气相沉积就是在反应室中将含有硅的气体分解，然后分解出来的硅原子或含硅的基团沉积在衬底上。 常用气体：硅烷SiH4，乙硅烷 Si2H6 n型掺杂材料：磷烷PH3 p型掺杂材料：乙硼烷B2H6，三甲基硼烷 B(CH3)3，或三氟化硼BF3 稀释气体：氢气H2，或惰性气体He，Ar Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 化学气相沉积 常用化学气相沉积技术： 等离子体辉光放电（glow discharge） 直流（DC）等离子体辉光放电 射频（RF）等离子体辉光放电 超高频（VHF）等离子体辉光放电 微波等离子体辉光放电 光诱导化学气相沉积法（photo-CVD) 热丝催化化学气相沉积法（hot wire CVD） Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 何为等离子体？ 普通气体温度升高时，气体粒子的热运动加剧，使粒子之间发生强烈碰撞，大量原子或分子中的电子被撞掉，当温度高达百万K到1亿K，所有气体原子全部电离．电离出的自由电子总的负电量与正离子总的正电量相等．这种高度电离的、宏观上呈中性的气体叫等离子体． 在自然界里，炽热烁烁的火焰、光辉夺目的闪电、以及绚烂壮丽的极光等都是等离子体作用的结果。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 等离子体特点 等离子体和普通气体性质不同，普通气体由分子构成，分子之间相互作用力是短程力，仅当分子碰撞时，分子之间的相互作用力才有明显效果，理论上用分子运动论描述． 在等离子体中，带电粒子之间的库仑力是长程力，库仑力的作用效果远远超过带电粒子可能发生的局部短程碰撞效果，等离子体中的带电粒子运动时，能引起正电荷或负电荷局部集中，产生电场；电荷定向运动引起电流，产生磁场．电场和磁场要影响其他带电粒子的运动，并伴随着极强的热辐射和热传导；等离子体能被磁场约束作回旋运动等．等离子体的这些特性使它区别于普通气体被称为物质的第四态． Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 辉光放电的基本原理 辉光放电系统的I-V曲线图 在真空系统中通入稀薄空气，两电极之间将产生放电电流，产生辉光放电现象。 可实现辉光放电功能的是正常放电和异常辉光放电阶段。 实际工艺中，选择异常放电阶段。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 辉光放电的基本原理 辉光放电系统的辉光区示意图 正离子柱区（阳极光柱区），在此区域，电子和正离子基本满足电中性条件，处于等离子状态。如果适当调整电极间距，可以使等离子体区域（正离子柱区）在电极占主要部分，故等离子体辉光放电化学气相沉积又称等离子体增强化学气相沉积（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition） Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Prof