微传热发展前沿..doc

绪 论 1、导 言 自然界各种物体的尺寸可归纳为图1.1，即小可至原子、分子和电子，大则至宇宙，其尺寸覆盖了从纳米(10-9m)到光年这样一个十分广阔的范围。以往研究得最多的是人类感官所能触及的对象，近几年来自然科学和工程技术发展的一个重要趋势是朝微型化迈进，人们的注意力逐渐从宏观物体转向那些发生在小尺度和／或快速过程中的现象及其相应器件上(见图1.2),其中微电子机械系统(MEMS)尤其取得了巨大成功，并正被拓展应用于各种工业过程。这类系统指的是那些特征尺寸在lmm以下但又大于1μm的器件，它集电子及机械元件于一身，并且要通过集成电路制造中所采用的批量加工方法制成。由图1.1可见， 微电子机械系统的尺寸比氢原子直径大四个量级，但又比传统人造器械尺寸小四个量级，纳米器件则进一步推进了微电子机械系统的小型化。由于现代制造与应用技术的持续进展，“微机械”或“纳机械”的尺寸正以超乎寻常的速度降低，而同时其性能却得到了保持甚至更好，各种令人惊讶的成就比肩接踵。发展至今，一些真正分子水平上的机器，如转子、齿轮、开关、闸门、转栅、马达等的制作甚至已经成为可能。正因如此，几乎所有从事微电子机械和纳机械系统研究与应用的人们都相信，一场革命正悄然来临，它不仅仅意味着“能量系统的微型化”，其意义远胜于此，因为建立尽可能紧凑而廉价的系统多少年来一直是工程实践的主旋律，为实现这个目标，人们付出了无数的努力。在过去二三十年间，为了寻找能够制造充分复杂而精细的电子系统的优良方法，人们投人了大量的时间和经费用于此项技术的研究。微电子机械系统的影响遍及相当广泛的领域，如仪器、医疗、生物系统、机器人、设计、导航及计算机应用等。世界范围内的许多著名大学均将微电子机械系统及其学科基础引入其教学和科研项目中，而且为了适应该领域显著的学科交叉特性，许多大学正在设置一些跨系、跨学院的课程，不少发达国家和地区如美国、日本、瑞典、德国、新加坡及中国台湾等的一些重要政府项目，均对微电子机械系统的发展及其相关研究给予了大力支持，比如在美国，早期支持微电子机械系统研究的经费主要来自国家基金会，每年约100万美元左右，之后美国国防部也加入了支持的行列，其资助水平每年每一项目甚至可达5000万美元以上。认识到这一重要性的国家数目正在不断增加，我国也较早地投入了大量的人力物力开展这一学科的研究，并在纳米科学的某些领域，如定向碳纳米管阵列、一维纳米线等，取得了引人注目的成就。所有这些态势都说明微米／纳米电子机械系统本身所具有的独特魅力和意义。 人们通常将微电子机械系统科学及纳米技术的起源，归功于诺贝尔物理学奖金获得者Richard Feynman于1959年在美国物理学年会西海岸会议上宣读的一篇经典论文”There’s Plenty of Room at the Bottom。该文在时隔33年后又被重新予以全文刊登；稍后，Feynman博士的另一篇早期论文“Infinitesimal Machinery也重刊于同一刊物。这两篇文章科学地预见了微米／纳米机械的许多重要特征。“纳米技术”的含义是指利用一些新技术，如激光束、离子束及电子束研磨，来完成的超精细材料加工技术，其定义可为“0.1-100nm(从原子尺寸到光波波长)尺度起关键作用的技术”。这种含义当然是十分广泛的，它可包括这样一些广阔领域，如超精细粉末加工；电子及X射线蚀刻及薄膜制作等。微机械加工也是由上述定义界定的新工程领域，它是所谓“利用标准半导体加工技术对硅材料进行三维雕刻的技术”。借助于这类技术，人们制造了许多极微小的机械器件，如尺寸远小于1 mm的压力、流动传感器和加速计，包括具有类似尺寸的换热器、空气透平、微型燃烧室和电子马达，以及制作在一个硅片上的一整套气体胶版复制器等。微电子学及分子生物学是另外两个强调微型化的领域，这方面一些近期的杰出典范，如生物芯片、生物反应器、微电子存储器等的设计和加工，已经进入全球竞赛的阶段。不难理解，所有微尺度科学中的一个共同特征是物质和能量的输运均发生在一个有限的微小结构内，而物质的输运和相互作用必然涉及到流动或能量的转换。据热力学第二定律可知，任何不可逆过程中能量的耗散必然有一部分是以热的形式体现的；此外，化学反应或相变过程中的任意分子重构也必然涉及到与周围环境的能量交换问题。因此，对于所有徽电子机械系统的设计及应用来说，全面了解系统在特定尺度内的微机电性质及材料的热物性、热行为等已经成为迫在眉睫的任务。然而，目前的科学和工程水平尚无法作到这一步，于是现代热科学中的一门崭新学科——微米／纳米尺度传热学应运而生。正如与所有领域内微尺度工程的蓬勃发展一样，微米／纳米尺度传热学正在成为热科学中最为激动人心的学科分支之一。由于能量传输和交换的普遍性，现在人们已经普遍地将注意力集中到一