扩散卡槽印导论.pptVIP

1. 制绒后未吹干、或存在酸碱残留： 扩散后烧焦，且在卡槽处留有卡槽印并污染石英舟如右上图所示，将污染的石英舟继续做18片实验片，出现大量轻微卡槽印的片子，如右下图所示。 确认：药液残留会导致卡槽印。 卡槽处留有卡槽印，并对石英舟造成污染，污染的石英舟继续做片将会产生大量轻微卡槽印污染 污染的石英舟继续做片产生大量轻微卡槽印 污染的石英舟继续做片产生大量轻微卡槽印 原因确认以及措施 1. 制绒后未吹干、或存在酸碱残留： 选取制绒3线10pcs未吹干并带有水珠的硅片，如右下图所示。 原因确认以及措施 1. 制绒后未吹干、或存在酸碱残留： 由于制绒后未吹干程度不同，扩散后有8pcs存在轻微卡槽印，非扩散面边缘存在不同程度的发暗情况，如图所示： 确认：不同程度的制绒下料未吹干会造成部分卡槽印。 措施：严格控制制绒下料和酸碱槽吹干情况，下料有未吹干的片子必须返工处理，酸碱槽发现未吹干及时通知工艺调试。 非扩散面边缘暗 原因确认以及措施 2. 石英舟较脏： 4月22日2-4管扩散后的两个石英舟均出现大量不同程度卡槽印，如右图所示： 大量轻微卡槽印 大量轻微卡槽印 原因确认以及措施 2. 石英舟较脏： 观察石英舟发现较脏，硅粉较多，如图所示，放在其他炉管试片后也是出现很多卡槽印。 原因确认以及措施 2. 石英舟较脏： 确认：石英舟较脏，特别是卡槽处硅粉较多时会污染电池片，产生卡槽印。 措施：要求扩散生产人员每天清洗4个较脏石英舟并做吹干和饱和，由当班工艺 确认签字。 原因确认以及措施 3. 集液瓶液位超过1/3： 4月2日发现1-4管炉口持续出现卡槽印的片子，更换不同石英舟同样炉口出有约20pcs卡槽印的片子，观察积液瓶发现集液瓶的液位超过1/3，如图所示，清理集液瓶后生产。 集液瓶液位过高，酸气通过尾气管直通炉口，污染炉口电池片 原因确认以及措施 3. 集液瓶液位超过1/3： 扩散后炉口卡槽印消失，继续跟踪几管无异常。 确认：集液瓶液位过高会产生部分卡槽印。 措施：生产负责检查集液瓶集液情况，液位超过1/3就必须更换，更换后由设备人员安装，当班工艺负责监督 。 集液瓶清理后 原因确认以及措施 4.尾气管堵塞或尾排抽风关闭： 4月8日2-1管连续出现炉口卡槽印的片子，将尾排抽风开大观察压力值无变化。 尾排开关任意调整，压力显示无变化 原因确认以及措施 4. 尾气管堵塞或尾排抽风关闭： 和设备一起检查，发现尾气管堵塞，如图所示： 堵塞 尾气管 尾气管 原因确认以及措施 4. 尾气管堵塞或尾排抽风关闭： 更换新的尾气管并开启尾排抽风生产，卡槽印消失，将尾排抽风关闭做片，出片炉口有约20pcs卡槽印。 确认：说明尾排堵塞或抽风关闭，炉口会出现卡槽印。 措施：在各项指标（方阻、外观等）正常的情况下，尽量将所有炉管的抽风都开启。 原因确认以及措施 5. 炉口偏磷酸较多： 右图为4-6管，炉口和炉门偏磷 酸较多。 炉口和炉门有大量偏磷酸，酸气污染炉口电池片 原因确认以及措施 5. 炉口偏磷酸较多 4-6管做的电池片扩散后常出现炉口轻微卡槽印的情况，如右图所示： 确认：炉口偏磷酸偏多影响卡槽印 5.措施：安排每周清洗3个石英管，优先清洗炉口偏磷酸多的炉管，尽快将所有炉管清洗一遍，结合保压测试，将保压测试合格的炉管尾排抽风打开，减少炉口偏磷酸的形成。 原因确认以及措施 6. 石英舟洗后未吹干就饱和、或酸洗后未经水洗就吹干饱和： 取酸洗后的石英舟，未经水洗，测试其表面pH值，呈强酸性，如右图所示：吹干后饱和，饱和后正常工艺生产18片试片。 石英舟表面液体呈酸性 原因确认以及措施 6. 石英舟洗后未吹干就饱和、或酸洗后未经水洗就吹干饱和： 扩散后18片中有8pcs卡槽印的片子，其余扩散面发黄。 确认：石英舟洗后未吹干或酸洗后未经水洗就吹干饱和会产生卡槽印 措施：生产人员洗舟并吹干后必须通知当班工艺确认并签字。 扩散面边缘发黄 原因确认以及措施 7.洗舟后未饱和或饱和不彻底（未饱和结束就跳步退出）等 取洗后的两个石英舟确认已经洗干净并无酸残留，如右图所示，吹干后，1号石英舟不饱和直接做12片实验片。 正常洗舟后吹干前石英舟表面液体呈中性或弱酸性 原因确认以及措施