显微镜的光学系统 反射式数字全息显微镜光学系统.doc

显微镜的光学系统 反射式数字全息显微镜光学系统 1 绪 论 1.1显微技术的发展史 原始的光学显微镜是一个高倍率的放大镜。据记载，在1610年前意大利物理学家伽利略已制作过复式显微镜观察昆虫的复眼(1)。这是一种已具目镜、物镜和镜筒等装置，并固定在支架上的显微镜。 1934年由M·诺尔和E·鲁斯卡(2)在柏林制造成功第一台实用的透射电子显微镜。其成象原理和光学显微镜相似，不同的是它用电子束作为照射源，用电子透镜代替玻璃透镜，整个系统在高真空中工作。由于电子波长很短，所以分辨率大大提高。 20世纪50年代扫描电子显微镜在英国首先制造成功(3)。它是利用物体反射的电子束成像的，相当于光学显微镜的反射像。扫描电子显微镜景深大，放大倍率连续可变，特别适用于研究微小物体的立体形态和表面的微观结构。 1.2数字全息技术发展及研究现状 1971 年，T. Huang 在一篇介绍二十世纪 60 年代到 70 年代早期数字计算机用于波场合成分析所取得的进展时，首次提出了“数字全息术”一词4。这之后的相当一段时间内，数值再现全息图的良好构想却一直受到计算机技术和电子技术相对落后的制约。近年来，计算机和电子图像传感器件的性能有了很大提高，数字全息术也因此得到了快速的发展。其中一个标志性的事件是，德国人U.Schnars和W.Jiiptner于1994年首次通过CCD摄像机成功获取全息5。 从现有的文献来看，目前欧、美、日和新加坡等国家的研究非常活跃，研究工作不仅包括提高数字全息分辨率的记录和再现方法，而且对数字全息的应 涉及的领域也非常广泛，涵盖了形貌测量、微电路检测、粒度分析、生物细胞观测、变形和振动测量，以及构件缺陷检测等领域，并取得了一些进展。近年来，国内的上海光学精密机械研究所、天津大学、山东师范大学、西安光学精密机械研究所和西北工业大学等一些单位都在这一领域积极开始研究工作，并取得一初步成果(6-10)。 1.3数学全息显微术研究现状和发展 数字全息显微术是根据数字全息成像原理发展出的一种新的显微技术。按放大原理的不同，全息显微术分为全息放大和全息显微镜两种。其中全息镜又可细分为预放大全息显微镜与后放大全息显微镜。全息放大是根据衍射理论，通过全息图自身特性实现再现像的放大。全息放大主要有三个途经:缩放全息图;短波长记录，长波长再现;适当选择参考光和照明光波面的曲率半径。预放大全息显微镜是由显微物镜预先放大样本，放大后的实像(或虚像)作为全息图记录的物体，以此得到放大的全息像。后放大全息显微术则是在普通全息一记录的基础上，然后通过显微物镜来观察再现像。这种技术通常只适合于传统全息术，用普通显微物镜观察全息干板再现出的微观物体像。在以数字全息为基础的数字全息显微术中，一般只用前两种放大方法。 从现有的文献来看，目前欧、美、日和新加坡等国家的研究非常活跃，研究工作不仅包括提高数字全息分辨率的记录和再现方法，而且对数字全息的应用研究涉及的领域也非常广泛，涵盖了形貌测量、微电路检测、粒度分析、生物细胞观测、变形和振动测量，以及构件缺陷检测等领域，并取得了一些进展。 Jorge等人利用同轴数字全息显微得到了亚微米级别的横向分辨率，对横向、轴向分辨率进行了理论分析和数字模拟，并对藻类在