PTH沉铜WI.docVIP

文件修改履历： 版次 修改前 修改后 生效日期 A0 首版发行 文件分发与回收 部门 分发份数 签名 日期 回收份数 签名 日期 生产部 计划部 品质部 工艺部 工程部 设备部 行政部 物控部 财务部 市场部 编制 职务 姓名 日期 Title： Print Name： Date： 审核 职务 姓名 日期 Title： Print Name： Date： 批准 职务 姓名 日期 Title： Print Name： Date： 受控 印章 1.0目的： 为员工操作提供指导，从而使员工操作规范化,保证沉铜后产品品质。 2.0适用范围： 适用于电镀的兢铭沉铜线作业 3.0 职责 3.1 生产部：按工艺要求进行操作并作好生产相关记录及日常机器的一级保养。 3.2 工艺部：为生产工艺与操作指引之制定并完善，新物料、新设备试用评估并为制程不良问题提供技术支持。 3.3 维修部：设备之二级保养与三级保养及设备故障维修。 3.4 品质部：工艺参数的稽查及生产品质之监控，工艺改善效果确认并提供数据支持。 4.0定义：利用孔内沉积的Pd催化无电解铜与HCHO作用使化学铜沉积在孔壁上。 5.0 操作规程 5.1 流程：双面板流程 多层板流程 5．2开、关机步骤 打开控制电源→打开各加热器加热→将飞靶放在原点位→将程式选择旋钮在程式A→打开各振动马达→将摇摆开关旋到NO→按程式清除键→按下程式启动。 5．3关机步骤 关机操作：将周期键旋在单周期位→关闭各加热器、振动、摇摆、药水添加、进水开关→关总电源。 5.4开机作业前验证： 5.4.1 检查各缸液位是否正常，并调整，活化缸不可直接加DI水补充液位，可用先配好的预浸液补加 。 5.4.2 检查飞巴摆放位置是否正确，天车轨道是否清洁，需用干布清洁轨道 5.4.3检查各水洗缸进水是否打开，并按流量标准设定溢流水量；有异常及时反映处理。 5.4.4检查各缸加热、打气、过滤、振动、摇摆开关是否打开，打气是否均匀，除油缸超声波是否打开，清洗或更换过滤棉芯，新棉芯用DI水浸 30分钟待用，更换预浸活化棉芯先用HCl泡2H。 5.4.5检查各缸温度有无达到工艺要求，并检查确保无异常，选择多层或双面程式生产。 5.4.6通知化验室取样化验，最佳参数控制在中间值，跟据化验补料通知单正确添加相应的药水；操作时须戴胶手套，防止酸性/碱性药水对皮肤造成伤害，若药水不慎入眼或溅到皮肤,必须立即使用大量清水冲洗,并立即到医院处理。 5.4.7 清洁地面和周边，使工作顺畅，先做拖缸板，背光8级以上可生产，生产时规范操作确保安全。 5.4.8生产时发现异常，立即停产，天车控制失灵，挂架下错缸，报警指示灯亮，拉急停线停止运行，通知主管或相应管理人员处理，排除异常恢复生产。 6.0工艺参数控制 流程 操作方法说明 控制参数 安全维护保养 上板 将钻孔板经过去毛刺后，戴上手套双手捧板边，依次将板插入沉铜架。 2、用扳手拧紧沉铜架螺丝，固定板子，避免散架掉板。 板间距≥10mm 1、严禁单手和裸手拿板。 2、上板和加药时戴手套作业。 3、记录做板的料号、数量、面积。 膨松 开缸体积700升。 洗净槽体内壁先加2/3的纯水。依次加入DS-01156L和NaOH 14KG，搅拌至完全溶解，再补加纯水至液位。 3、开启震动，过滤、加热。 1、强度 : 60-100% 2、碱度 : 0.4-0.6N 温度：60-75℃ 4、时间：5-8min 生产1000ft2补加：DS-011：补加1 L ；NaOH补加1.6KG 每班分析一次。 更换：处理：15-25 m2/L。 滤芯：15天/更换。 溢流水洗 开缸体积700升，洗净槽体注入清水。 温度：常温 15天/更换 除胶 1、开缸体积1500升。 2、洗净槽体内壁先加2/3的纯水。依次加入75kg高锰酸钾和NaOH 52KG、搅拌至完全溶解，再补加纯水至液位。 3、开启搅拌、震动，再生、加热。 1、高锰酸钾：40-60g/l 2、碱度：0.7-1.0N 4、温度：70-80℃ 5、时间：10-15min 1、生产1000ft2补加： 2、高锰酸钾补加1.6 kg/L ；NaO