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* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 若考虑负载(测量电路),等效电路如下: 电荷源等效电路 Ca Ra q Cc Ri Ci 电压源等效电路 Ca Ra ua Cc Ri Ci 假设一恒定力F作用于压电器件,产生电量q,则输出电压: 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 Ca Ra 电压放大电路 ua Cc Ri Ci -A ui uo 高通滤波 其中,R = Ra//Ri,C = Ca + Cc + Ci。 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 电荷放大器是一个高增益带电容负反馈的运算放大器,其输入阻抗极高(1012?以上)。 电荷放大电路 Ca Ra q Cc Ri -A ui uo Cf Ci 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 电荷放大等效电压放大电路 Ca Ra q Cc Ri Ci -A ui uo (1+A)Cf 其中,R = Ra//Ri C = Ca + Cc + Ci + (1+A)Cf ? (1+A)Cf 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 ICP? Sensor System 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 压电式加速度传感器 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 NOISE COMPARISON ICP CHARGE MODE (Ranged for 500 mV/g Sensitivity) 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 钢螺栓 a ) 钢螺栓 c ) 绝缘螺栓 b ) 云母垫圈 薄蜡层 探针 d ) e ) 粘接剂 粘接螺栓 f ) 粘接剂 g ) 磁 铁 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 各种振动传感器的测量范围 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 涡流位移传感器的校准仪 中南大学 机电工程学院 李群明 2015年上 测振传感器的合理选择 要求: 灵敏度高 动态特性良好 噪声小 滞后、漂移误差小 功耗小,复现性好,有互换性 防水及抗腐蚀 结构简单、成本低 中南大学 机电工程学院 李群明
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