光电测量系统设计1(测钢丝长度)最终版.docVIP

成都信息工程学院 光电测量系统设计 设计题目：用干涉法测量钢丝微小位移量 班级： 组员： 学号： 指导教师： 用干涉法测量钢丝微小位移量 引言 干涉测量法是测量科学中最有效的手段之一，它具有非常高的灵敏度，并且有其他技术不可替代的特点，被广泛地用于工程和物理学的各个方面。20世纪60年代，随这激光器的诞生，因激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。激光干涉测量技术被广泛地用于工程和物理学的各个方面。在目前常用的干涉仪中，以迈克尔干涉仪为主。激光干涉测量以其高精度，在微小量的测量中有其他测量方法不可匹敌的优势，例如在钢丝微小长度变化，房梁微小震动变化等。 迈克尔干涉仪测量原理 迈克尔逊干涉仪的结构简图如图1-1所示，G2是一面镀上半透半反膜，M1、M2为平面反射镜，M1是固定的，M2和精密丝相连，使其可前后移动， M1和M2后各有几个小螺丝可调节其方位。当M2和M1’严格平行时，M2移动,表现为等倾干涉的圆环形条纹不断从中心“吐出”或向中心“消失”。两平面镜之间的“空气间隙”距离增大时，中心就会“吐出”一个个条纹；反之则“吞进”一个个条纹。M2和M1’不严格平行时，则表现为等厚干涉条纹，M2移动时，条纹不断移过视场中某一标记位置，M2平移距离 d 与条纹移动数 N 的关系满足。? 图1-1 经M2反射的光三次穿过分光板，而经M1反射的光只通过分光板一次.补偿板就是为了消除这种不对称而设置的.在使用单色光源时，补偿板并非必要，可以利用空气光程来补偿；但在复色光源时，因玻璃和空气的色散不同，补偿板则是不可缺少的。 设计原理 1、干涉测量原理 干涉测量技术是一波长为单位的非接触精密测量方法，具有极其广泛的应用范围，其精度可达 以上，且有很高的测量重复性，该方法可实现对长度、距离、位移、振动和运动速度等物理量的高精度非接触测量。 干涉测量基于光波叠加原理，在干涉场中产生明暗交替上网干涉条纹，通过分析条纹的运动状况来获取被测量的相关信息。 将相干光源出射的光束分为两束，一束投射至参考反射镜，并将其反射光作为参考光；另一束投射至被测反射镜，并用反射光作为检测光；再用一分光棱镜使参考光与检测光重合，产生干涉，所形成的干涉场的光强分布为： 其中：，分别为参考光和检测光的强度；为参考光和检测光之间的位相差。 若被测反射镜位置发生位移或者形变，将会引起两光束间的光程差变化，也即发生变化，进而引起的变化。因此，探测的变化，并经过相关的电路处理，得到的变化，即可得到被测物体位移和振动的相关信息。 干涉场的光强为余弦分布，具有双值性，因此，当时，干涉条纹将发生多于一个条纹的往返位移。条纹移动时探测器输出波形是振动引起两个多周期（非整数个）的条纹移动， 迈克尔逊干涉实验是测量压电陶瓷位移和振动幅度的重要实验之一，其基本工作原理如图1-2所示，R和T（T装在陶瓷管的一端）是两个平面镜，做为两臂，G是个半透半反的分束板，它把由光源射来的光线分为强度相等的两部分（1）和（2）投射到R和T上，被R和T反射到G，又经G反射和透射相聚到光探头上。（1）和（2）这两束光为相干光，因此在E处相遇时产生一定的干涉图样，若R与T严格垂直，则E处的干涉图样为等倾干涉条纹，实验装置采用的压电陶瓷材料为管状长度为40mm，壁厚1mm，在内外壁上分别镀有电极，在电极上加有周期性的对称三角波电压，压电陶瓷随所加电压的变化而伸长或缩短，在陶瓷管的一端装有激光反射镜T，可以在迈克尔逊干涉仪中当反射镜使用。 实验装置中光源为He-Ne激光器，其干涉图纹为一组同心圆形条纹簇，随着陶瓷管上反射镜的微小移动条纹将向内收缩或向外发散，每移动一个条纹，对应的光程差为。则由于钢丝的位移使条纹的变化，即（式中y为压电陶瓷位移，N为干涉条纹数目，λ为选定激光波长）。 图1-2 2、驱动电源电路 系统所要的驱动电源主要是精密基准电压源、高频波形发生器、电压-电流转换器、慢启动保护电路和反馈环路5部分组成，其原理框图如图1-3所示。 图1-3 设计内容 1、光路的组成： L1 透镜：聚焦 L2 透镜：扩束、准直 L3 透镜：聚光 M1、M2 全反射镜：折叠光路 2、探测器 光电系统一般都是围绕光电探测器的性能进行设计的，因此探测器的选择非常重要，而探测器的性能由以下一些参数来表征。 光电探测器的工作条件 1.辐射源的光谱分布很多光电探测器，特别是光子探测器，其响应是辐射波长的函数，仅对一定的波长范围内的辐射有信号输出。这种称为光谱响应的信号依赖于辐射波长的关系，决定了探测器探测特定目标的有效程度。所以在说明探测器的性能时，一般都需要给出测定性能时所用辐射源的光谱分布。 2.电