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製程剝離液(Stripper)廢液回收節能報告 大綱 Used Stripper 內含物 Stripper 回收系統流程 Stripper 回收系統回收原理 Stripper 回收系統回收原理 Stripper 回收系統照片 節能原理 節能成效 節能成效 節能成效 Q A AUO Proprietary Confidential * 簡慶賢 友達光電 LT廠務部 (氣化工程師) E-mail：chishyanjean@ (03)4078800 – 2270 10. 12. 2007 Stripper 物理性質及用途 Stripper 回收系統流程 Stripper 回收系統回收原理 Stripper 回收系統照片 節能原理 節能成效 0.4~24.6 vol% 230.6 ℃ 95 ℃ 0.95 C8H17O3 70 BDG 5.5~17.0 vol% 171 ℃ 85 ℃ 1.08 C2H7NO 30 MEA 爆炸上下限 沸點(℃) 閃火點(℃) 密度(g/cm2) 化學式 wt% 物質名稱 Stripper 物理性質及用途 [ 30﹪NH2(CH2)2OH ＋70﹪C4H9O(CH2)2O(CH2)2OH ] BDG MEA Water Photo resist MEA變性物 其他 分散板 刮板 薄膜蒸發器構造 薄膜蒸發器 脫色塔 脫水塔 冷凝器 冷凝器 Stripper 回收系統流程 Vapor Pressure for solvent 薄膜蒸發器刮板(Brush） Teflon 製 Stripper 回收系統照片 新增Stripper回收設備 將原本當廢液排掉的Stripper廢液回收再利用， 經過蒸餾(精餾)去除光阻(PR)、金屬離子及水份等不純物後， 調整濃度以符合標準， 然後再度供應製程所需。 使用回收液後， 即可降低Stripper新液的使用量， 減少廢水系統處理負荷 達到節能減廢的目標。 Stripper cost 每日Stripper用量=16,095 L/day 每年Stripper用量=16,095L×365=5,874,675 L/年 Stripper新液成本=70元/L 每年之費用=5,874,675×70=411,227,250 元/年 改善前狀況： 廠區使用Stripper平均用量為:16,095 L/day， 由供酸系統供至生產機台，使用後排至廢液收集桶， 直接清運不作回收，將造成廢液問題及生產成本與環境問題。 Stripper cost 每日節省Stripper用量=16,095 L/day×70%=11,270 L/day 每年節省Stripper用量=11,270 L/day×365=4,113,550 L/年 Stripper新液成本=70元/L 設備Running cost=4.97元/L 每年節省之費用=4,113,550 L/年×(70-4.97)元/L =267,380,750元/年 改善後狀況： 生產機台使用 Stripper 後，排至廠務端回收系統回收再利用， 可降低廢液問題及生產成本與環境問題。 每年抑低CO2排放量 ： 目前本廠低濃度廢液委託台灣水泥處理，做為助燃劑， 以每年節省Stripper用量=4,113,550 L/year
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