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图2. 凝聚态源化学气相淀积（CVD）装置原理图 USTC材料科学与工程系 CVD课程导论 总装置图 USTC材料科学与工程系 CVD课程导论 ● 挥发性前驱物混合物置于载料舟中，通过电磁铁由精细 步进电机推动，使进入源挥发区，卤素灯光照射瞬间挥发，由载气载带到反应腔淀积成膜。 ●理论分析表明，混合前驱物的组成决定了淀积产物组成，载料舟的推进速度控制淀积速率。 固体源进料系统 USTC材料科学与工程系 CVD课程导论 液体源进料系统 ? 前驱物（金属有机螯合物或/和无机盐）溶于合适的溶剂中配成一定浓度的源溶液，由脉冲式计量泵进行脉冲式的定量输运，到超声喷嘴，雾化喷出并挥发成气态，进入反应腔成膜。 ?为适应多层薄膜原位生长，设置多个液态源溶液供应罐。 USTC材料科学与工程系 CVD课程导论 反应腔 反应腔为筒式，满足大面积部件制备的需要(D=80mm)。衬底托架用电炉可加热到400-800℃，同时在石英管腔体外附加红外(卤素)灯加热，可使衬底温度快速升至1200℃，适合高温淀积薄膜，及成膜后的原位烧结。 射频等离子体。 3个进料接口，以满足不同类型前驱物的制备要求。（该项目中设计：接口2再接一套液体源进料系统） 系统运行、传感、检测、记录的全自动微机控制。 体系运行检测：包括压强、温度、等离子体密度与电子温度等。 USTC材料科学与工程系 CVD课程导论 凝聚态源化学气相淀积（CVD）装置 中国科技大学 固体化学与无机膜研究所研制（2008）材料楼北楼205 USTC材料科学与工程系 CVD课程导论 本项目创新性： ★针对国际上对西屋公司高难度、高造价CVD/EVD技术，创建一种全新的CVD制备技术和装备，制造SOFC 或CMFC的核心部件：阳极（或阴极）支撑的PEN陶瓷膜构件。比通常陶瓷成型技术所制造的PEN部件，预期会有更高性能，缩短生产周期和较低的成本。从而导致陶瓷膜燃料电池的真正产业化道路。 ★技术路线上把实现SOFC这种21世纪绿色能源的主导制造工艺纳入“十分成功”的微电子学工艺的轨道。其附加的成果和效益将是为目前兴起的“微型固体氧化物燃料电池”（Micro-sofc）提供了技术基础。 实现上述目标的结果是： “中国将后来居上，领导SOFC领域的商品化！” CVD课程导论 IT-SOFC 或 Micro-CMFC的新颖CVD设备（中科院设备研发资金资助2005-2007） USTC材料科学与工程系 薄膜化SOFC的全CVD 制备 NiO-YSZ 衬底 电解质(YSZ、DCO) 固体源进料 液体源进料 LaSrCoFeO3 LaSrMnO3 液体源进料 前驱物：混合的金属b - 二酮螯合物或无机盐 NiO-电解质(YSZ、DCO) 液体源进料 RF Plasma H2 衬底在位还原 SOFC PEN 红外灯加热烧结 USTC材料科学与工程系 CVD课程导论 本实验室毕业从事CVD技术工作的部分研究生 姜银珠（Ph.D，2003－2007） 德国洪保基金，浙大材料系 副教授 宋海政（Ph.D，2000－2003） 日本东京大学， 美国南卡大学 博士后 王怀兵（Ph.D，1999－2001）中科院苏州纳米与生物技术研究所， GaN-LED开发主管和公司总经理 潘铭（Ph.D，1996－1999）美国GeorgiaTech实验室负责， 公司LED主管 黄磊（Ph.D，1997－2000）新加坡国立大学， 上海某公司技术主管 王显东（Ph.D，1987－1990）吉利刀片CVD改性， 课题负责 曹传宝（Ph.D，1987－1992）北京理工大学, 教育部重点实验室主任 刘勇（ PhD，1985-95）JASolar（晶澳太阳能控股有限公司）首席技术官（合肥） 袁志好（M.S，1987－1989）天津理工大学特聘教授，天津重点学科负责人 王春林 （M.S，1985－1988）美国Austin某（美国最大半导体）公司技术主管 方起 （M.S.-Ph.D, 1984-1989) 英国 皇家工学院，材料研究所 薄膜专家 张俊颖（M.S.-Ph.D, 1984-1989) USTC 百人计划，现美国某公司科技项目负责 USTC材料科学与工程系 CVD课程导论 本课程的内容和考核 第1章绪论 第2章CVD的一般化学原理和技术 第3章CVD系统中气相化学输运 第4章CVD体系的热力学 第5章淀积过程动力学与机理 第6章表面过程机理 第7章 影响淀积层质量的因素 第8章 CVD过程的数学模拟 第9章 化学气相淀积与新材料、新技术 §9.1化学气相淀积和新技术(讲座 1）