感测技术--ch5-3探究.ppt

第三部分 电容式传感器 工作原理与类型 转换电路 性能、特点及设计要点 电容传感器应用 电容式集成传感器 一、工作原理和类型 定义：将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器。 应用：位移、加速度、液位、振动及湿度。 二、电容式传感器的应用 电容传感器可以直接测量的非电量为，直线位移、角位移及介质的几何尺寸(或称物位)，直线位移及角位移可以是静态的，也可以是动态的。 用来测量金属表面状况、距离尺寸、振幅等量的传感器，往往来用单极式变间隙电容传感器，使用时常将被测物作为传感器的一个极板，而另一个电极板在传感器内。 电容式加速度传感器 1、结构 质量块两个经过磨平抛光的平面与两个固定极板构成差动电容传感器。 * 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为 原理式 式中: ε——电容极板间介质的介电常数, ε =ε0·εr, 其中ε0为真空介电常数, εr为极板间介质相对介电常数; S ——两平行板所覆盖的面积;  —两平行板之间的距离。 当被测参数变化使得式中的S, ε或 发生变化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数