第三章常用传感器与敏感元件报告.ppt

DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 三、固态图像传感器 从功能上说，是能把接受的光像分成许多小单元（像元），并将它们转换成电信号，然后顺序地输送出去的器件。 从结构上，是小型固态集成单元，核心部分是电荷耦合器件（Charge Coupled Device 简称CCD）。 CCD由阵列式排列在衬底上的金属-氧化物-硅电容器组成，具有光生电荷、积蓄和转移电荷的功能。 DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 固态图象传感器具有：小型、轻便、响应快、灵敏度高、稳定性好、寿命高和以光为媒介可以到达危险地点的优点。 用途： 物位、尺寸、形状、工件损伤等测量； 作为光学信息处理的输入环节，如电视摄像、传真技术、光学文字识别技术和图象识别技术中的输入环节； 自动生产过程的控制敏感元件。 三、固态图像传感器 DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 (1) 宽度测量; (2) 外径测量; (3) 主轴径向跳动测量. DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 四、热敏电阻 缺点：非线性大，环境温度敏感性大 与金属丝电阻比较优点： 灵敏度高； 可制成珠状、片状、柱状，热惯性小，响应速度快，时间常数可到毫秒级； 元件本身电阻值可在3~700kΩ选择，导线电阻影响小； -50~350℃温度范围稳定性好。 金属氧化物粉末按一定比例混合烧结而成的半导体。具有负电阻温度系数，温度上升，阻值下降。 DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 五、气敏传感器（检测煤气、有毒、易爆等气体） 电阻式半导体气敏传感器：被测气体与敏感材料接触并被吸附后，传感器的电阻值随气体浓度而改变。 敏感材料：金属氧化物，如氧化锡, 氧化锌，氧化铁等。 检测：一氧化碳，乙醇，甲烷等。 烟雾报警器 酒精传感器 二氧化碳传感器 DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 五、气敏传感器 DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 六、湿敏传感器 湿度检测比较困难，测量与控制技术落后，出现了半导体湿度传感器。 湿敏半导体材料为金属氧化物材料，如三氧化四铁Fe4O3。 金属陶瓷湿敏的基本原理：当水分子在陶瓷晶粒间吸附时，可离解出大量导电离子，这些离子在水的吸附层中担负着电荷的输运，导致材料电阻下降。 负感湿特性：阻值随环境湿度的增加而减小。 DATE: * PAGE: * §3-7 半导体传感器 七、集成传感器 半导体传感器及其后续电路被制作在同一芯片上； 集成传感器既完成传感器功能又完成后续电路功能； 集成的电路有：各种调节和补偿电路，如电压稳定电路，温度补偿电路、线性化电路等； 多传感器集成； 新进展：集成传感器所包含的电路具有一定的智能，出现了“灵巧传感器（Smart Sensor) ”或“智能传感器（Intelligent Sensor)” DATE: * PAGE: * §3-8 红外测试系统 红外辐射（红外线，红外光）指太阳光中波长比红光长的那部分不可见光； 任何物体当其温度高于绝对零度时，都会向外辐射电磁波，物体温度越高，辐射能量越大； 物体温度与辐射功率的关系（波耳兹曼定律）：物体的辐射强度与其热力学温度的4次方成正比； 波耳兹曼定律是红外检测技术应用的理论基础； 红外探测器是将辐射转化为电能的一种传感器，有热探测器和光子探测器两种； 主要有辐射温度计、红外测温仪、红外热像仪等。 DATE: * PAGE: * §3-9 激光测试传感器 激光具有很好的单色性、方向性、相干性以及随时间、空间的可聚焦性； 利用激光的相干性，可直接进行多种物理量的检测； 激光干涉式测量仪器：激光测长仪、激光测振仪、激光测速仪； 激光全息成像技术：基于激光的干涉特性和衍射原理，将物体发射的特定光波以干涉条纹的形式记录下来，在一定条件下使其再现，便形成了物体的三维像； 由于记录了物体的全部信息（振幅、相位、波长），称为全息术或全息成像。 激光轮廓测量技术：非接触的表面无损检测。 DATE: * PAGE: * §3-10 传感器的选用原则 选择传感器主要考虑灵敏度、响应特性、线性范围、稳定性、精确度、测量方式等方面的问题。 1 灵敏度 一般说来，传感器灵敏度越高越好，但在确定灵敏度时，要考虑以下几个问题。