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附件1 2013年上海市重点技术改造支持目录 一、电子信息制造业 1.集成电路：集成电路设计及系统开发应用，关键专用集成电路和系统级芯片设计、制造和产业化攻关，线宽0.13微米以下的超深亚微米集成电路工艺技术研究汽车电子等特色工业技术该开及配套的IP库建设。 2.信息通信设备：下一代互联网、光通信，具有百兆通信能力的移动通信系统，3G的应用开发平台终端业务平台，多模终端产品开发和产业化开发，高性能的新一代互联网核心网络设备与传输、接入设备的开发和生产，短距离通信芯片及产品。 3.平板显示产业：TFT-LCD生产线、OLED生产线及新型配套产业，玻璃基板、彩色滤光片、偏光片等关键器件及原材料，驱动IC等核心电子元器件，平板显示下游产品。 4.半导体照明产业：外延材料、芯片的制造、封装和应用等，高亮度半导体照明产品产业化关键技术，半导体照明产品在景观照明和公共照明的应用，国家半导体照明工程，半导体照明公共研发和服务平台。 5.微电子装备：光刻机、刻蚀机、化学薄膜沉积、检测设备、清洗设备、镀铜设备、抛光设备、芯片植球机、离子注入机等。 6.高性能电力电子元器件：MEMS传感器、智能型接近传感器，智能型光电传感器，视觉传感器，高精度绝对编码器，高精度流量传感器，多参数传感器，分析仪器用高精度检测器，传感器无线通信功能部件，巨磁阻传感器芯片，工业传感器，大功率新型电力电子器件及碳化硅基片