毕业论文设计--mems加速度信号处理电路研究设计.docVIP

摘 要 MEMS（Micro Electro Mechanical systems即微电子机械系统）是建立在微米/纳米技术基础上的前沿技术，其利用微电子技术和微加工技术制造各种性能优异微型化传感器。 (主要是MEMS技术)的发展，加速度传感器出现了微型化、集成化的发展趋势。信号处理电路是加速度传感器设计需要考虑的一个重要方面，集成化要求信号处理电路和加速度传感器单片集成。 飞行器的加速度可以利用MEMS电容来表征，但该电容仅在p量级MEMS 差分电容 MOS开关 微小信号检测 低噪声放大器  ABSTRACT MEMS（Micro Electro Mechanical systems）is a technology of forward position based on Micro/Nano technology. It uses microelectronic technology and micromachining to manufacture all kinds of excellent micromation sensor. Acceleration sensor is a key mechanical quantity sensor. As the development of