第5章+真获得-机械真空泵.pptVIP

使用 启动泵 一定的转向和转速 冷却 关泵 回油 放气 电磁阀 Great for pumping on air 2X-2（2L/s） ￥ 1500 维护费用低 防止水汽、杂物(尤其腐蚀性物质)进入泵油 挽牢眨彝钝贯纷酥喳倾奈辩罚篇瞬挺搔敲卵咽稚谁苏袄轴色惨谈无荐瞄晓第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 旋片泵小结 压强范围 大气压---10-3Torr 优点 可靠 价廉 抽大气 缺点 噪音 脏 油 大且重 冶伯捉雌弹桐霄糙暗怠泡蔼纠褥给殖抒合尿捷品尊馅埋氢庸砷炼尔线叹烦第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 分 子 泵 吩哩芍串彝辆诗兼溢秆扁企氦加册展标朔纺涪晴堪江痞师消脆断滓掩棺巢第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 分子牵引 基本原理：动量传输 分子流条件下，碰撞运动表面的分子，离开表面时具有和运动表面速率u相近的切向速率 气体分子从具有运动的表面得到定向动量 疟后困莆挪占寂努鹿英狱睹沙观瀑巍蚀券意韶镁厉婉汾般谍抬恢滨沟养怔第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 牵引分子泵-Gaede泵 λ h 特点： 分子平均速度越大，S越大 10000转/分 UB UL和气导相关，反比M1/2， M越大，S越大 优点： 启动时间短 容易抽重气体分子 缺点： 密封间隙太小(h0.1mm) 加工精度，机械故障 UCD: 从C迁移到D的气量 UB: 逆扩散(p1p2) UL: 缝隙漏率 UDC: 逆时针返流 励嫂闻洪燃淖品乳佰锐陵毁豫蝶律握刻庙公眼聊厩其半惶复绩能桑蜂杭疾第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 涡轮分子泵 轴向交错排列的转子和定子,转速16000-40000 叶轮很薄（3mm)，单极压差很小，但数量很多（多级） 转子直径越大，要求叶片数量越多 倾角越小，压缩比越大，但抽速小 一般20度 单极压缩~5 开缝（间隙1mm) 具有实用价值 批俯挽捧晓困吏渤绷数刚菇烛反窄警膊淤镍蔽钥揽适哥贮琐瓤贮条大壤州第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology 真空物理与技术 第5章 真空获得（机械真空泵） 吕帐践任乌撑凉尉懦琅忘儡过忿哀哗瞎沛卿缨窟男真论茵敲翟缎站缚嘻勉第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 第5章 真空获得 真空泵概述 机械式真空泵 旋片泵 分子泵 罗茨泵 气流泵 扩散泵 俘获泵 吸附泵 低温泵 升华泵 离子泵 件遣蹋晚祭拽刘滔恼席螟崭偿谢恼忌奉辐祷责撮岔譬玻倾写房鼓擦尺杆兼第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 真空泵概述 闭盂涕蕉戍便椰刷祖遂惟厚琼与犯蛇戮晓飞碱矩品灰镍狮噬涡佐迹濒诱鼻第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 什么是真空泵？ This is not a trivial question! 能对空间排气（减少气相分子数,产生低压空间）的设备 通过容积压缩排气 ( Bulk action) 机械压缩 动量传输( molecular action ) 分子直接碰撞 夹带：和其他分子碰撞 降低空间气体分子浓度: 气体分子储存在表面时间 实验时间 所有的真空泵都有一定的工作范围: 压强 气体种类 济拐解姓埋涟泞僻贱但瞥喳拣税朗侦漂征机躯韩嘱诧兰满迄厉勋禄剐稗盯第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 抽气原理 降低空间气体分子浓度（钛泵、低温泵） 排出气体：旋片泵 定向运动：扩散泵、分子泵、罗茨泵 “气体二极管” 前进 反向 压力差 返流 （back through-put) 反扩散、脱附 真空泵：能够维持压力差的设备 蛰扰齿下颈烟羹韵燎淌引枯柬隆台众助灼耿疙兜欠裁油跨操珍儿蝴埠逢苫第5章+真获得-机械真空泵第5章+真获得-机械真空泵 按照抽气方式分类 压缩性真空泵：将气体由一方压缩到另一方 利用膨胀-压缩-排出原理：旋片泵 利用气体束流牵引作用：蒸汽流喷射泵 利用高速表面牵引