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第一章 真空的基本知识 §1. 真空的定义、单位和真空区域的划分 真空的定义 气体的压强低于一个标准大气压的气态空间 一标准大气压： g=980.665 cm/s2\T=273 K时，760mm水银柱高所施加的压强 平衡状态下，气体宏观参量的重要关系式： P=nKT P=压强(Pa) 2. 真空的单位： 帕 (Pa) 1 Pa=1 N/M2=10达因/cm2 乇 (torr) mmHg μbar(微巴) or bar 1 torr=1 mmHg= 133.3 Pa 1 Pa= 0.75×10-2 torr = 10达因/cm2 1 μbar= 1 达因/cm2 = 0.1 Pa 3. 真空区域的划分 (1) 粗真空：1×105 Pa P 1×103 Pa (大约10 torr) (2) 低真空：1×103~ 1×10-1 Pa (3) 高真空： 1×10-1~1×10-6 Pa (4) 超高真空：1×10-6 Pa n 1010个/cm3，不少高科技器件或材料只能在超高真空下才能获得 §2.稀薄气体的基本性质 1.气体的三种速率表达式 最可几速率： 算术平均速率： 均方根速率： 2.平均自由程的定义：气体两次碰撞之间所走路程的统计平均值 a) 考虑到其它气体分子在运动，及气体速率有一定分布，作如下修正： § 3. 气体的输运 1. 抽真空过程中气体流动的三个过程 (1) 初始阶段(气压较高、流速较大) 出现湍流，起作用的是气体的惯性力 (2) 气压较低时： 粘滞性流动—各层速度不同，起作用的是层间相互摩擦力 (3) 气压更低： 分子性流动—分子间相互摩擦可忽略，流动完全有分子与器壁碰撞，即：湍流-粘滞性流动-分子性流动 2. 气体量，流量及其表达式 (1) 定义： 气体量：气体体积×压强，即PV，单位：牛·米-2·米3=牛顿·米 流量Q：单位时间流过的气体量 Q=PV/t=牛·米/秒 (2) 流量表达式： (长圆管道情况) a) 粘滞性流动时： 第2章 真空的获得 § 3 机械泵 1. 机械泵的Pu : 5*10-4乇 机械泵的用途：抽低真空；扩散泵、分子泵的前级真空泵 机械泵的结构：由工作室、进气管、排气阀、油腔、气镇阀、马达构成 ? 工作室包括：定子、转子、旋片 旋片装于转子上并将定子分成三部分：吸气空间；膨胀压宿空间；排气空间。 2 工作原理：（见原理图） 利用转子及其上的旋片的高速旋转使分成三部分的各泵腔容积发生周期变化来完成吸气和排气。 ?8． 使用的注意事项 ? 在新场所首次使用前需检查马达转向 ? 停泵时注意对泵放气防止反油 ? 需水冷的泵使用时需水冷 ? 用油正确，油量合适 § 3. 扩散泵 抽速： 几百到几千L/sec。 极限真空： 10-7 Torr 特点： 抽速大，寿命长，易维修。 缺点： 有油蒸气污染; 操作不当会意外返油，使真空系统造成严重污染。 用途： 作次级泵，静态和非常适合于动态真空系统中使用。 工作压强： 10-2 Torr以下 工作机理： 1）在真空条件下,工作液体被加热器加热，产生蒸汽； 2）蒸汽从喷嘴向下、向外高速喷出成伞状； 3）从入口处扩散进来的气体被蒸汽裹入，产生向下的动量； 4）带有气体的蒸汽以超音速喷向泵壁； 5）蒸汽和气体混合物与水冷的泵壁接触，蒸汽被冷凝，再进入加热器；裹夹的气体分子仍以获得向下的高速运动，在底部被前级泵抽走。 8.?? 扩散泵的使用注意事项 （1）样品室及扩散泵用机械泵抽到10-2乇才能加 热泵油 （2）加热扩散泵前应先开冷却水 （3）扩散泵工作时始终必须有冷却水和机械泵 （4）要用扩散泵抽样品室前，样品室真空度不低于10-2乇 （5）?扩散泵下部冷后才能停水、关机械泵 （6）? 泵油量、水量合适，加热功率正确 §4. 吸附泵: （1）极限真空与用途: 1 x 10-2 乇；10-4乇（双泵接力时）； 无油沾污低真空抽气。 （2）吸附泵的结构: （3）抽气原理: （4）分子筛的特点: （5）吸附泵的使用: §5. 泵升华 抽速： 10 ~ 107 L/sec。 极限真空： 10-5 – 10-6 Pa (水冷); 10-9 Pa (LN2); 优点： 抽气速度快。 缺点： 对惰性气体基本不起作用;间断性运行； 用途： 快速提升真空度时用；次级泵。 升华泵的使用: l??? 真空度低于10-4乇才能启用 l????加温1200-1500度，不能超过1600度 l??? 因Ti储量有限，不作主泵用，而与其他泵联合使用 l?????为省Ti，超高真空时采用间断升华 工作原理: 升华泵的特点： 活性气体抽速很大