精选课件薄膜的物理气相沉-饶泽勇肖萍.pptVIP

薄膜的物理气相沉积（II）——溅射法及其他PVD方法 制作人 饶泽湧 肖萍 2011.03.25 3.1气体放电现象与等离子体 原理：直流电场作用下物质的溅射现象。 1.沉积薄膜的衬底是可以接地的，也可以是处于浮动点位或是处于一定的正、负电位。 靶材：需要溅射的材料（阴极）； 真空室：接地的（负电位）。 3.1.1气体放电现象描述 气体放电现象是离子建设过程的基础。 V=E-IR 直流气体放电体系：见图3.2 放电现象描述： 1.汤生放电：随着放点电流的迅速增加，电压变化不大的放电阶段。 2.电晕放电：在汤生放电后期，在电场强度较高的点击尖端部位开始出现一些跳跃的电晕光斑。 3.等离子体：在汤生放电阶段之后，气体会发生突然的放电击穿现象，这是气体开始具备了相当的导电能力，这种具备一定的导电能力的气体称为等离子体！ 4.辉光：气体中导电粒子的数目大量增加，离子碰撞过程中伴随的能量转移也够大，所以放电气体会发生明显的辉光。 3.1.1气体放电现象描述 3.1.2辉光放电现象及等离子体鞘层 实质：部分的气体分子开始分解为可以导电的离子与电子，即形成了等离子体。 放电击穿：当气体压力与电极间距的乘积pd为某一数值时，气体最容易发生放电击穿。 帕邢曲线（定律）：描述放电击穿规律的曲线，称为帕邢曲线（定律）。 详见图3.3 (2