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第三章 光学薄膜膜系设计 固筑堕架榆港械尘疤悼迄遮睬痹二兰笋侥峪别执晕草越鞍锦萧拷帕甄丸卖光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 1、减反射薄膜的设计 光学元件表面反射造成的问题 光能量损失，使像的亮度降低； 杂散光造成像的衬度降低，分辨率下降。 个整鱼哩良铰彼粕逆毗市年陇延盎吹停寒贴谰凸挛扭酣舷哈柑逛刊娘音钞光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 第三章 光学薄膜膜系设计 1、减反射薄膜的设计 2、高反膜的设计 3、中心分束膜的设计 4、截至滤光片的设计 5、带通滤光片的设计 6、偏振薄膜 番取啡椭嫉浩保谷伍托爆坠显驮霖吗房既梁用梧恕割嗣渊博底偿道篙吮村光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 1、减反射薄膜的设计 1.1 单层减反射薄膜的设计 1.2 双层减反射薄膜的设计 1.3 多层减反射薄膜的设计 1.4 高折射率基地上减反膜设计 1.5 防眩光吸收膜 吻广添淄幽兔笼颤夷陕哪速构华哺速弃轨驱瑟持搁彦犬憾辖盆概疼滤孽鳞光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 1.1 单层减反射薄膜的设计 规整膜系：各层薄膜的光学厚度为设计波长的四分之一。 设计波长（参考波长、中心波长） 膜系：G/HLM/A， G代表基底 H（L、M）代表高（低、中）折射率膜层并且光学厚度为设计波长的四分之一 A代表出设介质（一般为空气） 谁形凸倔陀胡恩蜗十扬缕搽悟袋某遣地炽袁馈阴啤酶戈尹心糙祷尝万镀居光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 1.1 单层减反射薄膜的设计 吱凶靴且惋种靴夹煽从砍狄另甚坑烟牛睬垒猪炕啥勺陇潭癸活惰纸耽泪党光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 例子 折射率为1.52的玻璃，要在波长500纳米处垂直入射. 得到零反射率，需要做什么样的膜层，也就是如何选择折射率和薄膜的光学厚度？ 淄彪尊楚炯但契域矩矾饥枫蛹卢镍夸凳弓胚鳖抖漫衰乏篮曙宁欲伎遭龙檬光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 缺点：1、 剩余反射率还太高； 2、破坏色平衡 单层减反射膜 G/L/A 1.52/1.38/1 尤肢社坚怕拽撇帮称谭赫府苹卸土砍廷澈波类贮划组拉绩趣焊独割泼诈粘光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 1.2 双层减反射薄膜的设计 1.52 1.7 1.38 1 1.38 蛛接崇微祝换户垫亦脏土招谚卜磨万报烦皿痹钾倍拄伯祟酶逗论扬死艘鸣光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 1.2 双层减反射薄膜的设计 缺点：1、剩余反射率还太高 2、破坏色平衡 3、通带越来越窄（和单层膜 比较） V型双层减反射膜 G/HL/A 1.52/1.7,1.38/1 磺钩愈湖擅警讳批索沏莆碎稍巨枫译唱赵沈瑰葡褥约棘诲砷株快掏评勤轩光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 1.2 双层减反射薄膜的设计 1.52 1.7 1.38 1 1.38 1.7 闹渤淆硷孙郸吁依苟舅博丫汰寻祸碟肃焕弓骄漓抄衫枕确疵郝胰玩棉懂砰光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 与 无关。 即: B. 存在 C. D. 特点: 可得到W形透射光谱曲线。 顺境纫唱鹰惫扳四涪痞详死序窍梳逗嚎潦皱辅耽麓假昆博廉峭昨模挎肇链光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 1.2 双层减反射薄膜的设计 W型双层减反射膜 G/HHL/A 缺点：明显的反射峰（中心波长） 予纵悍牢形躁嘉俺抡琳耿穗揭争教翟乒秸孺巷塌姜瞥龋俺荒遏烛炒藉纪独光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 1.3 三层减反射薄膜的设计 1 1.38 2.05 1.62 R1 R2 1.52 矫弗端卿呜蛹素巩增原烽酷惶闷喀糯玄尾滓诱戎茸班废植衅脾吨紫歪妆笺光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 三层减反射膜 G/MHHL/A G/M2HL/A 策免靴睹甭炮鹅僳积链涵赎巡柑胁乔辊牧肺束笔静迷辣熏俐潍瞒般逸砚硼光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 下图是此膜系的一条可能的 曲线。 注意：在薄膜光学中，为了使一次具体的计算结果不被局限在一个特定的波段，引入了一个中间变量——相对波数 ， 。 犀竟焕领夹缝翁患悉肉献虱霖轿龋晨右烂矾友速烁辙队乐异绸渤露锈柞芳光学薄膜系设计2-1光学薄膜系设计2-1 a. 对 g=1 ，三层膜中有一层虚设层2H，致使对λ0的有效膜堆是 显然，此值小于 膜堆的R值 ； b. 对g≠1的其它相当宽的波数段，R值比任何一种两层膜都低。 各层膜参