激光测量技术第三章 激光衍射测量技术（参考）.pptVIP

2006年3月6日星期一 第三节 激光衍射测量的应用 一、构成各种物理量的传感器 1)流量 2)压力/形变 3)温度 4)电场/磁场 5)折射率 2006年3月6日星期一 二、涂层厚度/表面形状/位移测量 2006年3月6日星期一 二、涂层厚度/表面形状/位移测量 2006年3月6日星期一 二、涂层厚度/表面形状/位移测量 2006年3月6日星期一 二、涂层厚度/表面形状/位移测量 2006年3月6日星期一 三、振动测量 2006年3月6日星期一 四、直径和薄带宽度测量 2006年3月6日星期一 四、直径和薄带宽度测量CCD 2006年3月6日星期一 四、直径和薄带宽度测量 2006年3月6日星期一 四、直径和薄带宽度测量 转镜扫描式激光到径仪 准确测量Xk，S难度大，转角法，把测量位移转化为测量时间，设转速为ω 2006年3月6日星期一 四、直径和薄带宽度测量 狭缝扫描式激光测径仪 转镜扫描式测径仪是由测量条纹间距s值求得细丝直径 狭缝扫描式测径仪是通过测量特定级条纹的Xk值来求直径 2006年3月6日星期一 五、生物医学应用 测量细胞的平均直径 通过测量衍射频谱的光强分布计算出平均粒径的大小 2006年3月6日星期一 本章 注意事项 常用衍射测量的器件 PD 二分型的硅光电池 四分型的硅光电池 一维/二维PSD CCD（二维或线阵） 防止振动/跳动 隔振 扩束 透镜成像 2006年3月6日星期一 本章 注意事项 测量方法 直接测量: CCD 转镜/狭缝扫描式(测量时间) 一般测量Xk或者S, 由d=kLλ/Xk=Lλ/s求出 间接测量: PD 二分型的硅光电池 四分型的硅光电池 一维/二维PSD 测量明/暗条纹的移动量的大小 2006年3月6日星期一 本章 注意事项 4. 光学接收器件的选择与布置 衍射级数的选择一般2,3级 条纹计数越大(相对测量),越灵敏, 但是强度变弱 光电器件尺寸一般不要超过条纹间距 条纹移动量不应该超过器件的尺寸或者条纹间隔 否则容易发生误判 测控教研室 * 2006年3月6日星期一 第三章 激光衍射测量技术 党学明 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院 2006年3月6日星期一 本章的主要内容 主要内容: 第一节 激光衍射测量原理 第二节 激光衍射测量方法 第三节 激光衍射测量的应用 内容提示: 重点: 衍射及衍射现象在测量中的应用 学习方法: 衍射测量的思维与方法 2006年3月6日星期一 第一节 激光衍射测量原理 衍射/绕射:波能够绕过障碍物而弯曲地向它后面传播的现象，称为波的衍射现象 波: 声、光、电磁、机械波 障碍物：大小、形状对现象均有影响 现象：与波的波长、障碍物的大小、光源/观察的位置有关 2006年3月6日星期一 第一节 激光衍射测量原理 光的波长短， 对很小的缝隙/屏才有明显的衍射现象，激光出现后， 衍射现象才实际应用到测量中： 1973年 Canada 国家研究所 T.R. Pryer 提出了激光衍射测量的方法 衍射测量的特点： 全场， 非接触， 稳定性好，自动化程度高，精度高 2006年3月6日星期一 一、 菲涅耳和夫琅和费衍射 划分：按光源、障碍物/衍射物，观察屏三者之间的距离或位置划分菲涅耳衍射和夫琅和费衍射 （1）菲涅耳衍射/近场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为有 限远 （2）夫琅和费衍射/远场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为无 限远 2006年3月6日星期一 一、 菲涅耳和夫琅和费衍射 夫琅和费衍射是我们衍射测量的基本原理 其常用的光路图如下： 2006年3月6日星期一 二、单缝测量原理 1. 单缝衍射现象 其观察屏的光强分布： 有菲涅尔衍射原理有 由基尔霍夫条件知： 则光强分布： 2006年3月6日星期一 二、单缝测量原理 单缝衍射的特点： 1）中央明纹最亮、最宽，它的宽度为其他各级明纹宽度的两倍 2）次级明纹的光强随级次的增加而逐渐减小3）若光程差不等于 λ/2 ?的整数倍，亮度介于最明与最暗之间。 4）条纹的方向平行于缝的方向 5）暗条纹β=kπ 即 2006年