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第二章 薄膜技术物理基础 主要内容 表面原子结构：二维结晶学和表面结构的表征 表面能：定义，计算方法 薄膜中的扩散 2.1表面原子结构 几个表面定义 理想表面：沿着三维晶体相互平行的两个面切开，得到的表面，除了原子平移对称性破坏，与体内相同。 清洁表面：没有外界杂质。 弛豫表面：表面原子因受力不均向内收缩或向外膨胀。 重构表面：表面原子在与表面平行的方向上的周期也发生变化，不同于晶体内部原子排列的二维对称性（再构）。 台阶表面：有台阶存在的表面。 邻晶面：沿表面（例001）偏离1~20 切割，在表面有许多台阶或单原子。 实际表面：存在外来原子或分子。 2.1表面原子结构 二维对称性 2.1表面原子结构 二维对称性 2.1表面原子结构 二维对称性 平面晶系 点阵类型 点群 惯用晶胞 平面群 斜角 斜角点阵 P 1，2 平行四边形 P1, P2 a ? b， ? ? 900 矩形 简单矩形 P m 矩形 Pm, Pg , Cm c心矩形 C 2mm a ? b， ?=900 P2mm, P2mg, P2gg, C2mm 正方 正方点阵 P 4 正方形 P4 4mm a=b, ?=900 P4mm, P4mg 六角 六角点阵P 3, 3m 1200菱形 P3, P3m, P31m 6, 6mm a=b , ?=1200 P6, P6mm 2.1表面原子结构 2. 表面原子结构的表征 2.1表面原子结构 M为对角矩阵情况-最简单 2.1表面原子结构 2.2表面能 表面能：产生一个新表面所需要消耗的额外能量。 处于平衡态的物质，具有最低的表面能。液滴呈球状，是为了减小表面能。 表面能为正值。若要增大液体或固体的表面积，需要做功，比如将晶体打破，产生很多小晶体，增加了表面积和表面能。 表面能的大小决定一种材料是否与另一种材料相湿润。 表面能源于原子之间的相互作用。晶体的解理，产生新表面——表面能——键的断裂（键能、键数）——结合能——原子之间相互作用势能 2.2表面能 结合能和原子之间的互作用势能 结合能：在低气压下把1mol固体或液体转变为气体所需要的能量。 升华、汽化—与结合能的大小几乎相同，但通常在一个大气压下测量。 结合能、升华能、汽化能都与材料的固有能量，原子间的互作用势能有关。 2.2表面能 原子间互作用势能 2.2表面能 2.2表面能 金属，p=12, q=6，只考虑最近邻。 离子晶体，库仑势， 1/r关系，长程相互作用，p=12, q=1。 需要考虑次近邻，第三近邻等。 共价晶体，键具有方向性，不能用p, q 来简单地表示，通常是近距离的。 2.2表面能 六角密积 hcp nc=12 面心立方 Fcc nc=12 体心立方 bcc nc=8 简立方 nc=6 金刚石结构 nc=4 2.2表面能 实际表面解理被打破的键数目与晶体结构有关，并非简单的ncNs/2，不同的面，具有不同表面能，表面能/原子与升华潜热/原子之比并非简单的1/2关系。 2.2表面能 根据测量值，可以计算每个原子的表面能和潜热之比； 例Au，将单位面积表面能转化为每个原子表面能： 2.2表面能 同时，还可以从潜热计算原子互作用势能 2.2表面能 表面能、表面张力、表面应力： 能量/面积 或 力/长度 单位互换：erg/cm2= dyn/cm. 这里认为表面张力和表面能可以互换，用? 表示. 一般