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天津大学 博士学位论文 SOI高温压力传感器的研究 姓名：张为 申请学位级别：博士 专业：微电子学与固体电子学 指导教师：姚素英  中文摘要 本论文是国家自然科学基金项目“高稳定性高温压力传感器的研究”和天津 市自然科学基金项目“高灵敏度高温压力传感器的研究”研究工作的一部分。目 ??沽Υǜ衅魇嵌嘌Э谱钚卵芯砍晒?牟?铮?饕0?⊿?技术、微机械 加工技术、有限元分析等。 全面了解高温压力传感器的最新发展动态，从技术角度详尽分析了不同产品 ? 的优缺点；并对??沽Υǜ衅鞯奈锢砘?　!猄?技术进行了深入地探讨。 ??瓿闪艘恢志匦文そ峁筍?压力传感器的设计，包括版图设计与工艺设计， ?? 奠定了坚实的技术基础。 ??許?压力传感器的性能进行了全面地测试与分析。结果为改进现有设计和 力传感器的前提条件。由于传感器结构复杂，我们利用有限元工具 分布的影响，以及温度场对应力分布的影响。并根据所得结论，优化设计出 具有良好的静态特性与温度特性。 化设计均具有独创性。 当然，我们现有成果仍处于研究工作的起步阶段，只有通过不断的努力才能 研制出高性能??沽Υǜ衅鳌５?牵?幸坏闶强梢钥隙ǖ模琒?压力传感器必 将以其独特的结构、优异的性能成为??的主流产品之一。  ?? ??????? ? ???? ????盿? ?? ? ? ?? ??? ? ???? ????皌? ??????? ?? ? ???? ????皌? ?? ???? ???? ????? ?? ????????????． ?? ???? ? ??????? ???? ????? ???? ???? ? ? ?? ????? ?瓺??? ??? ?? ? ???? ? ?? ?? ?? ???????瓺???? ????? ?? ?????? ???? ??? ?? ???? ?????琲???? ??? ??? ??? ? ??? ? ? ? ??? ?? ???? ? ???．?? ??． ? ??? ???? ????????甌? ?? ??? ?????? ??? ???????． ? ??? ???? ???瓼??? ?????????? ???? ? ???????? ???????? ????瓸???? ???? ? ??? ??? ???? ????? ?????琭???猠??? ???? ? ? ?????? ? ????? ??? ?????瑃? ????? ? ?? ?????瓵???? ? ? ?????甌? ? ??? ??? ???? ????? ???? ?????? ???? ??? ??? ????? ?? ???? ??? ? ?????? ???? ?? ??? ? ????? ??? ??? ????． ? ?? ?? ? ? ? ???? ?? ?? ??  ????? ???? ??????． ?? ???? ? ? ???? ? ?? ?? ???? ? ???? ? ??? ?????，??? ????：??琱??猼?????????  独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的 研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表 或撰写过的研究成果，也不包含为获得墨注盘茔或其他教育机构的学位或证 书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中 作了明确的说明并表示了谢意。 学位论文作者签名：歃内 ?鷄年?耛日 签字日期： 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解基注盘鲎有关保留、使用学位论文的规定。 特授权基洼盘鲎．可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校 向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。 ?Ｃ艿难?宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄋ得? 学位论文作者签名：镦为  璺：．：里鱼丝—— 第一章绪论 ??课题的提出 传感器技术、通信技术和计算机技术是当今推动人类社会信息化方向发展的 三大动力。传感器作为获取信息的装置，其重要地位不言而喻。嗣前，半导体集 成电路技术的飞速发展使通信和计算机技术的发展臼新月异。而传感器技术由于 涉及面广，所需知识学科种类繁多，发展显得相对滞后。但传感器技术的应用对 一个国家科技和国民经济的发展具有十分重要的意义，日本《传感器电子学》一 书的序言中甚至提出“征服传感器就等于征服现代科技”的观点，因此成为世 界各国竞相投入巨资重点发展的高科技领域。 从广义角度的来说，所有能感受外界信息并按照一定规律将其转换为可用信 号的装置都可以称作传感器。但是在实际使用过程中，由于对电信号的处理最