盛世善年生于上海复旦大学化学系物理化学专业.docVIP

盛世善 1945年生于上海 1962-1967 复旦大学化学系物理化学专业 之后，在中国科学院大连化学物理研究所工作 1978年起涉及表面科学 1986年 英国 表面科学仪器培训 1993-1994年 德国 FhG-IGB（弗朗和费协会 界面技术与生物工程 研究所）访问学者 1990年被国家计委、国家教委与科学院授予“为国家重点实验室作 出重大贡献的先进个人”称号(金牛奖) 现为： 中国科学院大连化学物理研究所 退休职工 中国科学院大连化学物理研究所 催化基础国家重点实验室 返聘人 员 国家标准化委员会 表面分析分技术委员会委员 国家自然科学基金委 基金申请项目同行评议专家 曾从事微波吸收材料、燃料电池电极、电催化、多相催化反应、无 机膜材料与应用、膜反应器及催化材料原位表征技术等研究表面分析技术基础 (1) 盛世善 sssheng@dicp.ac.cn 中国科学院大连化学物理研究所 催化基础国家重点实验室 2014.11 北京 Thermo-Fisher序言，关于表面 1，XPS原理、方法 2，UPS 3，AES 4，ISS 5，REELS（略）序言 关于表面什么是表面？ 物体和真空或气体的界面称为表面 我们着重研究固体表面 表面层的厚度： 第一原子层？最上面几个原子层？ 或是厚度达几微米的表面层一般认为： 表面层为一到两个单 层，表层的信息深度 来自零点几纳米到几 纳米表面是固体的终端，其物理、化学性 质与体相不同。在热力学平衡的前提 下，表面的化学组成、原子排列、原 子振动状态均有别于体相。 由于表面向外一侧无邻近原子，表面 原子有部分化学键形成悬空键，故表 面有很活泼的化学性质。同时固体内 部的三维周期势场也在此中断，致使 表面原子的电子状态也有异于体相。表面分析是研究表面的形 貌、化学组成、原子结构 （或原子排序）、原子态 （原子运动与状态）、电 子态（电子结构）等信息 的实验技术。真实表面 的保持常温下空气(N2)分子的几个参量 气体压强 平均自由 分子密度 分子碰撞率 形成单层 程 时间 （托） （厘米） (个/厘米 (个/厘米2·秒) 3) （秒） 760 6.7×10-6 2.46×1019 2.9×1023 2.9 ×10-9 10 5.1×10-4 3.25×1017 3.8×1021 2.2×10-7 10-3 5.1 3.25×1013 3.8×1017 2.2×10-3 10-6 5.1×103 3.25×1010 3.8×1014 2.2 10-9 5.1×106 3.25×107 3.8×1011 2.2×103 10-14 5.1×1011 3.25×102 3.8×106压强:10-4Pa,温度:300K(室温), N2(m＝28)气氛： 每秒在每cm2可有 3.88 ×1014 个碰撞，而典型的固体表面约 1015原子/cm2 在 10-4Pa的真空环境下, 几秒 就可盖满一个单层。真空区域 物理现象 低真空 大气压-103Pa ld 分子间碰撞 l=d 分子间与分子与器壁碰 中真空 撞 103—10-1Pa 高真空 10-1—10-6Pa ld 分子与器壁碰撞 表面现象，表面形成单分 超高真空 10-6—10-10Pa 子层时间较长 极高真空 低于10-10Pa 分子数目较少 l 分子平均自由程 d 容器直径我们称表面被覆盖满一单层为： 1 Langmuir 而1L约为10-4Pa.sec. 超高真空：10-6－10-10Pa 没有超高真空就没有表 面科学！常用表面分析 方法与用途分析技术 检测信号 元素范围 深度分辨 携带信息 SIMS (二次离子质谱) 二次离子(团) H-U 0.5~300nm 化学成分 化学结构 TOF-SIMS (时间飞行二次离子质谱) 二次离子(团) H-U/有机大分子 200nm(扫描模式) 化学成分 化学结构 TEM/FE-TEM, EDX (透射/场发射透射电镜) 透射电子 X射线 Be～U(EDX) N/A 物理结构 化学成分 SEM/FE-SEM, EDX (扫描/场发射扫描电镜) 背散射/二次电 子 X射线 Be～U(EDX) 1～5μm 物理形貌 化学成分 EPMA (电子探针) 背散射/二次电 子 X射线 Be～U(WDS) 1～5μm 物理形貌 化学成分 AFM/STM (原子力/扫描隧道显微镜) 原子力 隧道电流 固体表面 最上层原子 物理形貌 ISS (离子散射谱) 离子 H～U 单层 原子结构 AES/SAM (俄歇电子谱/扫描俄歇显微镜) 俄歇电子 Li～U 2～30nm 化学组成 化学态 UP