华东理工大学概率论7概要.ppt

(2) 半导体陶瓷湿敏元件 半导体陶瓷湿敏原件结构示意图(图 55) 半导体陶瓷湿敏原件结构示意图 湿敏元件 - 安装在一种高致密的、疏水性的陶瓷基片上 电极 ② 和 ③ 四周 - 安置金短路环 以便消除 - 测量电极 ② 和 ③ 之间由吸湿和沾污而引起的漏电 ① 和 ④ - 加热清洗线圈的引出线 半导体陶瓷湿敏元件感湿特性曲线(图 56) 半导体陶瓷湿敏元件的感湿特性曲线 图中列出 - 松下-Ⅰ、松下-Ⅱ、SM-1 型湿敏元件的感湿特性曲线 湿度范围 - 1% - 100% RH 元件阻值范围 - 由湿敏元件 - 多在较为恶劣的气氛中工作 元件上会吸附 - 环境中油雾、粉尘及有害气体 导致元件的有效感湿表面积减小 - 使元件的感湿性能退化 精度降低 - 甚至会导致感湿功能丧失 元件使用过程中 - 需对其进行加热清洗 以便恢复 - 对水汽的吸附能力 SM-1 型湿敏元件在加热清洗时阻值的瞬态变化曲线(图 57) (3) 湿-气多功能传感器元件 - 由 半导体陶瓷为多孔结构 不仅吸附水汽 - 且在高温下某些氧化或还原性气体可以在陶瓷晶粒表面上产生化学吸附 改变 - 陶瓷体的导电能力 这种半导体陶瓷既