镀膜真空术语全集(中英文对照)教材分析.docVIP

镀膜真空术语全集（中英文对照） 5.分压真空计（分压分析器） 5-1.射频质谱仪radio frequency mass spectrometer：??5-2.四极质谱仪（四级滤质器）quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass filer：??5-3.单极质谱仪momopole mass spectrometer： 5-4.双聚焦质谱仪double focusing mass spectrometer：??5-5.磁偏转质谱仪magnetic deflection mass spectrometer：??5-6.余摆线聚焦质谱仪trochoidal focusing mass spectrometer：??5-7.回旋质谱仪omegatron mass spectrometer：??5-8.飞行时间质谱仪time of flight mass spectrometer：??6.真空计校准 6-1.标准真空计reference gauges：??6-2.校准系统system of calibration：??6-3.校准系数K calibration coefficient：??6-4.压缩计法meleod gauge method：??6-5.膨胀法expansion method：??6-6.流导法flow method： 4.? ?1.真空系统vacuum system??1-1.真空机组pump system：??1-2.有油真空机组pump system used oil ：??1-3.无油真空机组oil free pump system 1-4.连续处理真空 设备 continuous treatment vacuum plant：??1-5.闸门式真空系统vacuum system with an air-lock：??1-6.压差真空系统differentially pumped vacuum system：??1-7.进气系统gas admittance system：??2.真空系统特性参量 2-1.抽气装置的抽速volume flow rate of a pumping unit ：??2-2.抽气装置的抽气量throughput of a pumping unit ：??2-3.真空系统的放气速率degassing(outgassing) throughput of a vacuum system：??2-4.真空系统的漏气速率leak throughput of a vacuum system：??2-5.真空容器的升压速率rate of pressure rise of a vacuum chamber：??2-6.极限压力ultimate pressure：??2-7.残余压力residual pressure：??2-8.残余气体谱residual gas spectrum：??2-9.基础压力base pressure：??2-10.工作压力working pressure：??2-11.粗抽时间roughing time：??2-12.抽气时间pump-down time： 2-13.真空系统时间常数time constant of a vacuum system：??2-14.真空系统进气时间venting time：??3.真空容器 3-1.真空容器；真空室vacuum chamber：??3-2.封离真空装置sealed vacuum device：??3-3.真空钟罩vacuum bell jar：??3-4.真空容器底板vacuum base plate：??3-5.真空岐管vacuum manifold：??3-6.前级真空容器（贮气罐）backing reservoir：??3-7.真空保护层outer chamber：??3-8.真空闸室vacuum air lock：??3-9.真空冷凝器；蒸汽冷凝器device for condensing vapor：??4.真空封接和真空引入线 4-1.永久性真空封接permanent seal ：??4.2. 玻璃 分级过渡封接graded seal ：??4-3.压缩玻璃金属封接***pression glass -to-metal seal：??4-4.匹配式玻璃金属封接matched glass-to-metal seal：??4-5.陶瓷金属封接ceramic-to-metal seal：??4-6.半永久性真空封接semi-permanent seal ：??4