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* * 第三章 扫描电子显微镜Scanning Electron Microscope,SEM 3-1. 常规扫描电子显微镜 3-2. 环境扫描电子显微镜 3-3. 分析电子显微镜 3-4. 双束电子显微镜 3-5. 扫描探针显微镜 3-1.扫描电子显微镜 电子束在样品表面做光栅状扫描，检测器接受 产生电子的信号，经过放大处理后，在荧光屏 上显示样品的表面图像的一类电镜。 S-5000型 超高分辨率扫描电镜 1.分辨率：钨灯丝（高真空3.0nm，低真空、低电压15nm）； 场发射电子枪（0.5nm）。 2.放大倍率：十几倍～40,000连续可调。 3.图像特点：样品表面的三维灰度图像。立体感强，景深大。 4.样品制备：实体观察，适应面广，制作较容易。 一.扫描电镜的技术特点 5.电子枪真空度：钨灯丝（10-5~10-6乇） 场发射电子枪（ 10-8~10-9乇） 6.具有图像采集、编辑、样品台导航功能。 7.应用范围：任何固态物体（高真空模式），或者 生物活体样品（环境真空） 二.扫描电镜的结构 二次电子检测器 背散射电子检测器 电子光学系统（镜筒） 真空系统与电路系统 信号显示与记录系统 信号检测与转换系统 样品室 电子枪 聚光镜 扫描线圈 扫描电镜 三.扫描电镜的成像 1、扫描电镜的工作原理 同 步 扫描电源 倍率调节 检测器 样品 视频放大器 灯丝 栅极 阳极 电子枪 图像信号 观察 照相机 电子枪 高能电子 聚光镜 电子探针 样品 二次电子 检测器 视频信号 视频放大 显象管 照相机 同步扫描 2.电子探针的扫描方式 从左到右，自上而下，逐点逐行在样品表面扫描。同时，在同步电源作用下，显像管的偏转极也进行同步扫描而将样品的表面形态显示出来。 3.图像组成： 像素：构成图像的基本单元。像素越多，像质越好，图像分辨率越高。 例如：KYKY-1000B，每行1000像素，每幅图像由200 ～2000条扫描线完成。扫描线数越多，图像像素越多。 则像质越高。 4.放大倍率 M 二次电子 检测器 放大倍率的 调节 保持加到显像管偏转线圈的信号强度不变（即荧光屏上 图像大小不变），而改变加到镜筒偏转线圈的电流大小 （即改变扫描样品的面积），使二者长度（或面积）之 比发生变化，达到调节倍率的目的。 M= W-image W-scan 5.反差的形成 二次电子的产额决定图像的反差。而二次电子的产额由样品表面形态和成分决定的 1)二次电子产额与样品表面的形貌有关，倾斜、边缘和尖端处 产生的二次电子较多，图像明亮； 2)二次电子产额与样品成分有关，原子序数高的元素 被激发出较多的二次电子，反之则少。 表面突起 部位产生的二次电子易逸 出，图象较亮；凹陷部位的二次电 子受阻而不易逸出，图象较暗。 即：样品表面凸凹形态决定 二次电子的产额，进而 决定图象的明暗程度。 改善方法：表面喷镀 导电处理 6.应用图像 菜青虫体表结构 蚜虫头部及复眼 君子兰花粉 马兰花粉 3-2. 环境扫描电子显微镜(ESEM) 1、概念：指样品室能够提供一 定压强、温度和湿度等生物 环境的一类扫描电镜。 2、主要技术指标： 真空室压力/分辨率： S-3000N：270Pa/4.5nm; Jem-6380：270Pa/4.0nm; Quant-200：200~2600Pa/3.5nm 样品室相对湿度：可以达到100%； 样品室温度：-20~40℃可调。 Environment Scanning Electron Microscope FEI-Quant200环境扫描电镜 1.33×10-3pa 3、主要特征： 两点技术革新 （1）真空室和样品台的革新： 采用多级压差光阑技术，镜筒内形成梯度真空。 即电子枪保持高真空的同时，样品室可以维持高达 2600Pa的压强；并且样品室的相对湿度、压强和温 度可根据样品的需要而调节。 （2）检测器的革新： 采用气体二次电子探测器， 通过二次电子对气体分子的 电离作用，一方面使生物样 品微弱的电子信号放大，另 一方面所产生的离子可消除 生物样品表面的电荷积累， 使含水的、导电性差的生物样 品能直接获得清晰的图象。 GSED 4、ESEM的优点及应用： 可以非破坏性地观察生物样品的原始形态 1.生物样品可以进行活体观察，避免了制样过程中的人为 损伤和药物损伤对样品形态影响，显示样品的真实形态。 2.对于胶体金标记的样品避免因镀膜产生的影响； 3.对于X射线