电子能谱XPS-AES探究.ppt

X射线光电子能谱（XPS，X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得表面成分信息的一种能谱。 XPS = ESCA 这种谱仪早期取名为化学分析电子能谱（ESCA ，Electron Spectroscopy for Chemical Analysis），这一称谓仍在分析领域内广泛使用。 逃逸深度与逸出角有关 θ为探测角，出射方向与面法线夹角 当θ = 0 ，垂直表面射出的电子来自最大逸出深度； 当θ ≈ 90 ，近似平行于表面射出的电子纯粹来自最外表面几个原子层 。 改变探测角θ可调整表面灵敏度 光电子发射可以分为三个过程，即： 电子因光吸收而激发 释放出的电子向固体表面移动 克服表面势场而射出—脱离固体表面 对于固体样品，选Fermi能级作参考点。 固体样品的电子由Fermi能级跃迁为真空静止电子（动能为零的电子）所需要的能量称为功函数Ws 。 hv＝ Eb ＋ Ek+ Ws 式中Ek为光电子刚离开固体样品表面的动能；Eb为固体样品中的电子跃迁到Fermi能级时电子结合能； Ws为样品功函数。 固体样品功函数Ws和仪器材料的功函数W’不同，要产生