一种微加速度计设计与制造.pptVIP

　　　　　　　　目录 MEMS加速度计简介 MEMS压阻式加速度计设计原理 MEMS压阻式加速度计主要制造工艺 总结与体会 　　微加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。微加速度计是惯性传统器件的代表，其理论基础是牛顿第二定律。 MEMS加速度计简介 　　微加速度传感器的研究开始于70年初，是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。目前国外在微加速度传感器方面做的比较好的主要有：美国加州大学Berkley分校、德国Dresden大学、日本Toyohashi大学，美国AD公司（ADXL50）等 ] 1[。我国在这 方面的研究起步比较晚，距离产业化还有很多路要走。 目前微机电加速度传感器的工作原理主要有压阻式、电容式、压电式、力平衡式、微机械热对流式和微机械谐振式等。 微加速度计典型汽车用产品 　　1991年AD（Analog Devices）公司生产出的第一个商用多晶硅表面微机械电容式加速度计AXDL-50 　1995年美国的AD公司生产制造了5g的低加速度值汽车用加速度计 　九十年代初ADI的气囊微加速度计 　国内的相关研究还存在很多问题，有很多共性难题没有解决，如： 　　(1) 微结构的振动质量比较小，产生的输出信号非常微弱，基本上与机械噪声以及电噪声同数量级，因此弱