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光刻清洗工艺简介
11、异丙醇 化学品中文名称:2-丙醇 化学品英文名称: Isopropyl alcohol 成分/组成信息:纯品 有害物成分 浓度 CAS No. 异丙醇 99.9% 67-63-0 理 化 特 性 外观与性状:无色透明液体,有似乙醇和丙酮混合物的气味 熔点(℃):-88.5 相对密度(水=1):0.79 沸点(℃):80.3 相对蒸气密度(空气=1):2.07 饱和蒸气压(kPa):4.40/20℃ 燃烧热(Kj/mol):1984.7 临界温度(℃):275.2 临界压力(MPa):4.76 辛醇/水分配系数:<0.28 PH:无资料 闪点(℃):12 爆炸上限[%(V/V)]:12.7 引燃温度(℃):399 爆炸下限[%(V/V)]:2.0 溶解性:溶于水、醇、醚、苯、氯仿等多数有机溶剂 主要用途:是重要的化工产品和原料。主要用于制药、化妆品、塑料、香料、涂料等 12、正胶剥离液 化学品中文名称:正胶剥离液 化学品英文名称:Stripper for Positive PR? 成分/组成信息:混合物 有害物成分 浓度 CAS No. 乙二醇丁醚 ≥40% 111-76-2 理 化 特 性 外观与性状:无色液体,略有气味 辛醇/水分配系数:无资料 PH:无资料 熔点(℃):-74.8 相对密度(水=1):0.90 沸点(℃):170.2 相对蒸气密度(空气=1):4.07 饱和蒸气压(kPa):40.00/140℃ 燃烧热(Kj/mol):无资料 临界温度(℃):无资料 临界压力(MPa):无资料 闪点(℃):71 爆炸上限[%(V/V)]:1.1(170℃) 引燃温度(℃):244 爆炸下限[%(V/V)]:10.6(180℃) 溶解性:溶于水、乙醇、乙醚等多数有机溶剂 主要用途:正胶剥离 13、负胶剥离液 化学品中文名称:负胶剥离液 化学品英文名称:Stripper for Negative PR 成分/组成信息:混合物 有害物成分 浓度 CAS No. 苯酚 20%以上 108-95-2 理 化 特 性 外观与性状:红棕色透明液体,有特殊气味 辛醇/水分配系数:1.46 PH:无资料 熔点(℃):40.6 相对密度(水=1):1.2 沸点(℃):181.9 相对蒸气密度(空气=1): 饱和蒸气压(kPa):0.13(40.1℃) 燃烧热(Kj/mol):3050.6 临界温度(℃):419.2 临界压力(MPa):6.13 闪点(℃):79 爆炸上限[%(V/V)]:8.6 引燃温度(℃):715 爆炸下限[%(V/V)]:1.7 溶解性:可混溶于水、醇等溶剂 主要用途:主要电子工业负性光刻胶膜的去除 结 束 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 6、烘烤箱(电热恒温鼓风干燥箱) (1)原理:工作时空气由箱底进气孔
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