家庭危险气体警报器的制作.docVIP

家庭危险气体警报器的制作 家庭危险气体主要是一些可燃性的气体，一般包括液化石油气（各类低碳烯烃和烷烃）、天然气（甲烷）以及城市煤气（主要是一氧化碳）。这些危险气体大多数是无色无味的，在泄露时极难发现，但是会造成很大隐患。其一，当这些可燃性气体在空气中超过一定体积分数时，遇明火会爆炸；其二，这些气体，特别是一氧化碳，具有很大的毒性。如果没有及时发现泄露，往往会导致人被毒死。所以，能够发现危险气体并报警的装置——家庭危险气体警报器，是非常必要的。 基于甲烷和液化石油气（煤气）的密度不同，检测元件的选材不同。本文论述两款家庭危险气体警报器的选材、制备工艺以及简单电路。 选材 介质层目前普遍采用的制备介质层SiO2, 其介电常数约为4.0, 并具有良好的机械性能。采用常用的集成电路薄膜制备工艺溅射法制备： (l) 硅片清洗:将硅片先用成分比为H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的强氧化性,将有机物分解而除去；用超纯水冲洗后,再用成分比为H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1或5:1:1或7:2:1的碱性清洗液清洗, ,再用乙醇清洗。 (2)硅片氧化: 采用热氧化法控制其SiO2的厚度在6000?左右。 (3)溅射铂薄膜: 为了得到较好的加热电阻和电极, 溅射过程中对衬底进行加热, 并控制工作电流和工作气压。为了解决Pt和SiO2附着性, 采用Ti做过渡层。 (4) 光刻电阻图形: 采用常规平面工艺光刻方法, 并结合溅射刻蚀, 形成所需要的图形,然后分割成小片。 2、敏感材料的配制 敏感膜的主体材料采用的是化学共沉淀法制成的Sn02,以PdCl2作为催化剂, 来提高灵敏度。由于CH4气体对敏感膜反应灵敏的工作温度要求很高, 一般在300℃ 以上。要使元件在较低的电压下工作, 敏感膜要有很低的电阻。为此, 依次采用了以下降阻措施: (l)在Sn02与PdCl2混合物中,添加Sb2O3,元件的电阻可降至350kΩ； (2)在含一定比例Sb2O3的敏感材料中添加SnCl2,元件的电阻可降至100 kΩ； (3)在上面的基础上,再添加SnCl4,元件的电阻可降至2 kΩ； (4)最后再加入一定比例的SnO，元件的电阻可降至100Ω。 以上举措, 大大降低了元件阻值, 元件在通常的加热电压下就可以有较高的工作温度, 使得甲烷可以在其灵敏工作温度区工作, 从而具有较高的灵敏度和选择性。 3、元件制作及测试 元件的制作流程为: 制作好电阻的基片之后把配置好的敏感材料一研磨l小时，之后通过厚膜工艺涂敏感膜，涂好膜以后自然凉干，然后在马福炉中烧结90分钟(温度600℃)，最后焊接引线。 测试电路如图2所示。测试过程此处不详述。 第二款液化石油气和城市煤气的检测元件的制做方法完全类似于第一款，此处不详述。 简单电路 电路的总体框图（如图3） 图3：电路的总体框图 电源电路 电源电路的设计可以采用两种方法来实现：第一种方法是采用电池提供，需要注意的选择合适电池的指标参数与电路相匹配，但是此种方法对于报警器来说不甚合理——电池的电用光又没有及时换的时候存在隐患。第二种是直接从交流电网供电，通过变压器电路、整流电路、滤波电路和稳压电路将电网中的220V交流电转换成12V直流电压。本文采用第二种电路。 危险气体检测电路 气敏半导体传感器在洁净空气中的阻值大约几十千欧姆，但是当接触到如天然气、煤气和液化气等危险气体时，电导率增大，电阻值极度减小。在12V的电压下，电流急剧增大。将断开危险气体检测电路的常闭触点，接通声光报警电路的常开触点。 声光报警电路（如图4） 声光报警电路由：闪光振荡电路、指示灯以及控制电路、音频振荡电路、功率输出电路以及扬声器组成，可以购买，不详述。 自动切断电路 自动切断电路的关键器件为直流电动机，因为家庭中危险气体产生源一般为天然气或电化气罐，所以将电动机连接到开关位置，就可以通过电动机的运作打开或关闭通道，从而切断危险气体产生源，并且可以打开通风通道，加快气体的排出。 四、 结束语 平面旁热式甲烷气敏元件是以高频溅射、反溅、光刻等半导体平面工艺在硅片上制作Pt薄膜电阻, 并在此基础上利用厚膜工艺涂敷气敏材料而成, 作为甲烷气体敏感元件和液化石油气、城市煤气的敏感元件,其中敏感材料的配制降阻起到了很重要的作用。该元件具有一致性好、灵敏度高、选择性好、易携带等特点, 更适合于批量生产。 班级：10无机 姓名：马晓春 学号：20101410513 硅片清洗 硅片氧化 溅射铂薄膜 光刻电阻图形 自然晾干 烧结 焊接引线 配置敏感材料 研磨敏感材料 涂敏感膜 危险气体检测电路 常闭触点 熔断器 声光报警电路 自动切断电路 常开触点