第二章、应变式传感器1讲解.ppt

五、应变片的温度误差 用作测量的应变片，希望阻值仅随应变变化，而不受其它因素的影响。实际上应变片的阻值受环境温度影响很大。 环境温度变化引起的电阻变化与试件应变所造成的电阻变化几乎有相同的数量级，产生很大的测量误差，称为应变片的温度误差，又称热输出。 （1）应变片的敏感栅具有一定温度系数； （2）应变片材料与测试材料的线膨胀系数不同。 原因 3.4 电阻应变片的测量电路 应 变 电 桥 双臂应变电桥 单臂应变电桥 全臂应变电桥 直流电桥： 交流电桥: 半等臂电桥 全等臂电桥 桥臂关系 电源 工作臂 电源端对称 输出端对称 3.4.1 直流电桥 R1R4=R2R3 平衡条件 n=R2/R1=R4/R3 1、单臂应变电桥 2、双臂差动电桥 3、全桥差动电路 采用差动的电桥方式不仅可以消除非线性误差，同时还可以达到温度补偿的目的。 缺点 ① 大应变下的非线性 ② 不能测应力梯度的变化 0.1%~0.01% 3.5 应变式力传感器 ① 应用和测量范围广 ② 精度和灵敏度高 ③ 频率响应特性好 对复杂环境的适应性强 ④ 优点 几十~上百kHz ⑤ 简单 小巧 便宜 商品化 3.5 应变式力传感器 一、组成和形式： 1、作用： 金属应变片可以组成各种应变片传感器来测定位移、力、扭矩、加速度、压力等物理量。 2、组成： a)弹性敏感元件 b)应变片元件 3、形式： 包括柱式力传感器、悬臂梁式力传感器、应变式压力传感器、应变式加速度传感器等。 1、柱式力（荷重）传感器 二、应用举例： F F 2、悬梁式力传感器 等强度悬臂梁 等截面悬臂梁 电子天平的精度可达十万分之一 电子天平 吊钩秤 * 电阻式传感器 常用的电阻式传感器： 应变式电阻传感器：基本原理、工作特性和主要应用。 非电量 电阻变化 敏感元件 电位器式传感器 应变式传感器 压阻式传感器 光电阻式传感器 热电阻式传感器 应变式电阻传感器作为测力的主要传感器，测力范围小到肌肉纤维，大到登月火箭，精确度可到 0.01-0.1% 。 第3章 应变式传感器 材料类型：金属应变片、半导体应变片 应用范围：力、转矩、位移、加速度 主要优点：体积小、精度高、使用简单、范围大 应变式传感器特征： 第3章 应变式传感器 3.1 工作原理 3.2 应变片的种类、 材料及粘贴 3.3 电阻应变片的特性 3.4 电阻应变片的测量电路 3.5 应变式传感器的应用 3.1 工作原理 应变式传感器的工作原理是基于电阻应变效应，即导体在外界作用下产生机械变形时，其电阻值相应发生变化的现象。 一根金属电阻丝，在其未受力时，原始电阻值为 受外力作用后，通过对上式全微分可得dR为 单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏系数。 K的影响因素 材料几何尺寸的变化 1+2μ 材料的电阻率的变化 （dρ/ρ）/ε μ为电阻丝材料的泊松比 常用做应变片的材料有两种：金属和半导体 金属材料 半导体材料 π—压阻系数 σ—应变力 E—弹性模量ε—应变 金属材料 半导体材料 半导体可以直接测力，金属可以直接测位移间接测力 应变效应 压阻效应 体积小，灵敏度高，频率响应范围宽，输出幅值大，不需要放大器，可直接与记录仪连接，使测量系统简单，可以直接测量力。 半导体应变片的灵敏系数比金属丝式的高50--80倍，但半导体材料的温度系数大，应变时非线性比较严重，使应用范围受到一定的限制。 半导体应变片的优点： 3.2 应变片的种类、材料及粘贴 按材料分类： 金属电阻应变片和半导体电阻应变片 高温、低温、高压、磁场、水下 按结构分类： 单片、双片、特殊形状 按使用环境分类： 3.2.1、应变片的种类： 金属电阻丝（合金，电阻率高，直径约0.02mm）粘贴在绝缘基片上，上面覆盖一层薄膜，变成一个整体。 基片 覆盖层 金属丝 引线 金属丝应变片结构 一、金属电阻应变片结构 3.2.2、应变片的结构： 1、金属丝式应变片 丝式、箔式、薄膜 2、金属箔式应变片 利用光刻、腐蚀等工艺制成一种很薄的金属箔栅，厚度一般在0.003~0.010 mm，粘贴在基片上，上面再覆盖一层薄膜而制成。 优点： 表面积和截面积之比大，散热条件好，允许通过的电流较大，可制成各种需要的形状，便于批量生产。 金属箔式应变片 3、金属薄膜应变片 金属薄膜应变片是采用真空溅射或真空沉积方法，将应变材料直接沉积在弹性元件上而不用粘合剂。 特点： 这种应变片有较高的灵敏度系数，允许电流密度大，工作温度范围较广。 常用金属薄膜应变片 金属应变片的基本结构 F 敏感元件 转换元件